1
(21)4621004/33
(22) 10.11.88
(46)30.11.91. Бюл. №44
(72) Э.Г.Раков, А.Е.Федоров, Д.Г.Купрюнин,
М.В.Мелкумянц, Н.М.Быстрова и Л.П.Лаврищев
(53)666.1.053.63(088.8)
(56)Патент Франции № 2320275, кл. С 03 С 15/00, 1977.
Патент Великобритании № 1285778, , кл. С 03 С 15/00, 1972 (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦА
(57)Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления, и может быть использовано для химической обработки изделий из кварца, используемых в электронной и механической промышленности. Целью изобретения является повышение качества поверхности. Для этого раствор содержит фторсодержащий компонент с концентрацией 2,0-21,0 моль/л и органический спирт с одной функциональной группой ОН при длине углеводородного радикала с концентрацией 0,3-13,7 моль/л. При использовании растворов указанной концентрации качество поверхности улучшается. 1 табл.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Раствор для травления кварца | 1988 |
|
SU1694500A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ НА МАГНИИ И ЕГО СПЛАВАХ | 2015 |
|
RU2620224C2 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ АТ-СРЕЗА | 1995 |
|
RU2117382C1 |
| КОМПОНЕНТЫ СИСТЕМЫ НАНЕСЕНИЯ РАСПЫЛЕНИЕМ С ГИДРОФОБНОЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ И СПОСОБЫ | 2015 |
|
RU2687436C2 |
| ПРИСАДКИ И/ИЛИ ДОБАВКИ К ИНДУСТРИАЛЬНЫМ МАСЛАМ | 2007 |
|
RU2362765C2 |
| Раствор для химического травления металлов группы железа | 1990 |
|
SU1742355A1 |
| СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА ФТОРСОДЕРЖАЩЕГО ОРГАНИЧЕСКОГО СОЕДИНЕНИЯ | 2021 |
|
RU2807182C1 |
| КОМПОЗИЦИЯ ЖИДКОТЕКУЧЕГО ПОЛИМЕРНОГО ОТТИСКНОГО СЛЕПОЧНОГО МАТЕРИАЛА ХОЛОДНОГО ОТВЕРЖДЕНИЯ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕКСТУРЫ, ДЕФЕКТНОСТИ, КАЧЕСТВА И ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ | 2003 |
|
RU2240332C1 |
| НОРМАЛЬНЫЙ ОКТАДЕЦИЛОВЫЙ ЭФИР ПЕРФТОРПОЛИОКСАПОЛИПРОПИЛЕНКАРБОНОВОЙ КИСЛОТЫ В КАЧЕСТВЕ ПОВЕРХНОСТНО-АКТИВНОГО ВЕЩЕСТВА И МОЮЩЕЕ СРЕДСТВО ЕГО СОДЕРЖАЩЕЕ | 2008 |
|
RU2390531C2 |
| Состав для химической обработки титана | 1990 |
|
SU1781319A1 |
Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам раство- ров для травления, и может быть использовано для химической обработки изделий из кварца, используемых в электронной и оптико-механической промышленности.
Целью изобретения является повышение качества поверхности.
Испытания проводят на круглых образцах кварца с диаметром 7 мм с исходной шероховатостью ,1 мкм. Образцы помещают в раствор определенного состава и травят при определенной температуре. Значение шероховатости поверхности измеряют на проф- илографе-профилометре Tallsurf-6.
Конкретные составы растворов и их свойства приведены в таблице.
Раствор для травления кварца готовят следующим образом
П р и м е р. К 58 мл 50%-ной фтористоводородной кислоты приливают 10 мл изогепта- нола-1, добавляют 14,8 г фторида аммония NH4F и доводят объем дистиллированной водой до 100 мл. Полученный раствор с концентрацией ПАВ 0,9 моль/л при тщательном перемешивании нагревют до 75°С и1 помещают в него круглые образцы кварца с диаметром, равным 7 мм, с исходным значением шероховатости поверхности Ra, равным 0,1 мкм, и травят при этой температуре в течение 30 мин. После этого образцы вынимают из раствора, тщательно отмывают горячей водой, сушат, измеряют значение Ra на профилогра- фе-профилометре, которое при этом составило 0,06 мкм.
Формула изобретения Раствор для травления кварца, включающий фторсодержащий компонент и органический спирт, отличающийся тем, что, с целью повышения качества, используют органический спирт с одной функциональной группой ОН при длине углеводородного радикала. Са-Сю, с концентрацией 0,3-13,7 моль/л и фторсодержащий компонент с концентрацией 2,0-21,0 моль/л.
(Л С
О
чэ
4 СП О
Результаты травления кварца
