Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления, и может быть использовано для химического формообразования изделий из кварца.
Целью изображения является снижение плотности ямок травления.
Испытания проводят на образцах кварца в виде круглых пластин диаметром 7 мм. Их помещают в раствор определенного состава и травят при определенной температуре. Плотность ямок травления на поверхности кварца определяют визуально с помощью микроскопа и увеличением от 50 до 800 крат.
Изобретение подтверждается конкретными примерами, приведенными в таблице. Примеры 48-50 иллюстрируют прототип.
Раствор для травления кварца готовят следующим образом,
Пример13. Берут 4 мм 40%-ной фтористоводородной кислоты, смешивают с
90 мл валериановой кислоты и добавляют 6 мл дистиллированной воды, нагревают до 75°С при тщательном перемешивании. Затем в нем травят в течение 300 мин кварцевую пластину с диаметром 7 мм. После травления пластину промывают в горячей воде, сушат и под микроскопом (увеличение от 50 до 800 крат) фиксируют наличие или определяют плотность ямок травления. На поверхности кварцевой пластины, протравленной при описанных условиях, были обнаружены 22 ямки травления. В то же время последующее травление в растворе фтористоводородной кислоты 5ез добавления органической кислоты привело к образованию на поверхности кварця 170 ямок травления.
П р и м е р 16. Берут 57 г гидродифтори- да аммония , добавляют 10 мл изомасляной кислоты и доводят объем до 100 мл, приливая дистиллированную воду, нагревают до 75°С при тщательном перемешивании. Затем в нем травят в течение 60 мин кварцевую пластину с диаметром 7 |им. После травления пластину промывают в горячей воде, сушат и под микроскопом фиксируют наличие или определяют плотность ямок травления. На поверхности Кварцевой пластины, протравленной при описанных условиях, были обнаружены 5 ямок травления. В то же время последующее травление в растворе гидродифтори- да аммония без добавления органической Кислоты привело к образованию на поверхности кварца 164 ямок травления.
Формула изобретения Раствор для травления кварца, включающий фторсодержащий компонент и органическую кислоту, с одной функциональной
/ О
группой -С С At/ .отличающийся
тем, что, с целью снижения плотности ямок травления, используют органическую кис- лоту с длиной водородного радикала С4-Сю с концентрацией 0,45-211,5 моль/л и фторсодержащий компонент с концентрацией 0,5-27 моль/л.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Раствор для травления кварца | 1988 |
|
SU1694501A1 |
Состав для выявления дислокаций в монокристаллах тройных халькогенидных материалов | 1980 |
|
SU941434A1 |
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ШЕРОХОВАТОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК И ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ АНОДНОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК | 2003 |
|
RU2217840C1 |
Полирующий травитель для иодида ртути | 1979 |
|
SU816331A1 |
Способ определения типа проводимости слоев полупроводниковых структур | 1982 |
|
SU1045313A1 |
СПОСОБ АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ | 1996 |
|
RU2106717C1 |
Травитель сегнетоэлектрической керамики системы цирконата-титанатэ свинца | 1981 |
|
SU988854A1 |
КИСЛОТНЫЙ СОСТАВ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ТЕРРИГЕННЫХ КОЛЛЕКТОРОВ И СПОСОБ КИСЛОТНОЙ ОБРАБОТКИ ПРИЗАБОЙНОЙ ЗОНЫ ПЛАСТА | 2003 |
|
RU2242605C1 |
КИСЛОТНЫЙ СОСТАВ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПРИЗАБОЙНОЙ ЗОНЫ ПЛАСТА ТЕРРИГЕННОГО КОЛЛЕКТОРА С ПОВЫШЕННОЙ КАРБОНАТНОСТЬЮ | 2016 |
|
RU2616923C1 |
Гель для травления стеклянной оболочки микропроводов | 2016 |
|
RU2621336C1 |
Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления, и может быть использовано для химического формообразования изделий из кварца. Целью изображения является снижение плотности ямоя травления Для этого раствор для травления кварца содержит фторсодержащий компонент с концентрацией (0,5-27,0) моль/л и органическую кислоту с одной функциональ„ 0 ной группой -С с длиной углеводородного радикала C/i-Cio с концентрацией
Патент США N 4055458, кл | |||
Переносная печь для варки пищи и отопления в окопах, походных помещениях и т.п. | 1921 |
|
SU3A1 |
Шеститрубный элемент пароперегревателя в жаровых трубках | 1918 |
|
SU1977A1 |
Устройство трансляции сигнала в рельсовой цепи | 1985 |
|
SU1276550A1 |
Авторы
Даты
1991-11-30—Публикация
1988-11-10—Подача