Датчик давления Советский патент 1991 года по МПК G01L9/12 

Изобретение относится к измерительной техник в частности к емкостным датчикам и может быть использовано для измерения статического и дш амического давлений жидких и газообразных сред

Цель изобретения - расширение темче ратурного диапазона и уменьшение нелч- нейности выходной характерис(ики датчика давления

На фиг 1 пои зана конструкция да гчика давления, на фи 2 прогибы мембраны от давления

Датчик дяв/ f мня содержит вакуумиро- ванный корпус 1 с цилиндрическим опорным основанием 2 мембпэну ; жестким центром 3, закрепленную на опорном основании с o6pa30BjHi CM консольного периферийного участка Л толщиной, равной толщине мембраны Диск 5 закреплен на мембране при помощи кольца 6 толщиной,

равной зазору между диском и мембраной Емкостный npeofразоштель деформации выполнен в виде двух пар противолежащих э/ектодов расточсжегных по центру 7 и 8 и на периферии мембраны и диска - 9 л 10 Кольцо 6 расположено на периферии кон- солгного участка мемораны но пленарной стороне которого в обл гт расположения электродов и п оклалки выполнено ци 1инд- рическое утолщение 11 голщипой оавной тол MI vi нг диска Цилиндрическое утолщение жестко соединено в ослягтч равномерно размещенных : о перифсрир с диском 5, толщина которого выбрана ш являемого соотношения Электроды соединены с вывсо,эми гер опроходчика 12

Корпус ме ибрана и AV-CK еь полнены из сплав- 73НХБМО hla мембрану и диск нанесен слой эне грича н виде композиции (-Si02 общей iолщимьи 3 мкм ЭлектроI

/,1 LHI ПО III Г ;.П;13КТрИК : I B JMd lHCны из компочиьии ванадий-никель толщиrC v - ,

В IM , - м пилочрч чм i JHI ре1 л ч ait 7 р и ПРП п1 п i if ь) 1ле гподы мембпаННН 1 i 1 (1 / ЮС О ТИ фИ

If

( 1 i f t if О A - I . p I y

(ЛМЯ, r {I I f 1 лтга м i i о i

,iv ч-, j т м i ,31 ц K

;iii4v n ir i т (Л ie

П И ВЛОНИЧ 1СНФГ- HtjiC

мЪс I4i что догочн ire;u но

- j jfu « i. r;y Цен f iM bHLfMI

л с i- чм ооеоп 1Ч1 сзРт( я r-r i, I -i r-fii-ьпс ть к ujv рпег ому

i n ттора r i-i t f от ц ;

ic i i i н пеиифбр ti rii агора получим

- i |рния По njv

i i| 1

П/ПЯП- ч-. т rOBd с/;

и HC

П - Jr

12ft10-1000„

а погпе преобразопдн Ч1

- 3 ,- h/, ( V1Q )Ьи

Гели hfi Рудо) neiibL it ,ем VlQ м.тпчеже- ное перемес счи ЦРН рапьного элек- диска можег цосгпи1, 10% от inn 1;одс)пем- f,t4 и(-| чтп MO от np /ffti Г 1 к лопоптгеги,мии нслинечнос 1 1 т овчины 4 1 - -

д. кт бппр ;Х) Им та че ИР fvnio с нооправланчым уиепи п чом

5 0 Г il MC ИГ. ptMQH i lr 11 1П ДПС

ом е мгпатуры 1 ч u UOALI

Г- Ч ПГ-НЫО ДПТi Д В COOT t CJ1

c(|/iH с (редлггиемь 1 рмиснчем рзСюто- сне- РГНЬ ,i натурном цчлпазоне от г -100Х яо 400°С г погрешностью не более / /о 1 ечпье иногт рицтлт мою днт 1ика npep i гчет 0 1 л

i к oFjpa4 jfi |пиог/иче- npeMMvutenBDM тччв; qpf он конс рук- 5 1 чп гя тся pai ширрнн в 2 5 раза гс мг боагуриогр диапазо - а уменьшение г(елиинин(.сти п 2 пала 3d гчет jcrpaneHMfl УШЯИ ы термических десЬоопгики корпуса HI ме эпгртродныи i3iif TI чет оПгч пен г, и/- периферийсчс устранение I ti n пен rp /iLMt i о

ных г пектро/юв и

Изобретение относится к измерительной технике в частности к емкостным датчикам, предназначенным для измерения давления в широком диапазоне температур Целью изобретения является расширение температурного диапазона и уменьшение нелинейности выходной характеристики Цель достигается тем что в датчике давления, содержащем ва умированныг корпус 1 с цилиндрическим опорным основанием 2 мембрану с жестким центром 3, закрепленную на опорном основании с образованием периферийного участка 4 толщиной ранной толщине мембраны, диск 5, закрепленный на мембране при помощи кольца 6, и емкостный преобразочатель деформации, вы- потненным в виде двух пар 7, 8 и 9, 10 противолежащих электродов расположенных по иентру и на периферии мембраны и диска чольцо 6 расположено н периферии консольного участка мембраны, ча непла- нарной стороне .отрою Р расголо- женич элечтродог. Р iO и ольиа 6 выполнено шн ин дричрско уголи.ечи«. 11 толщиной ратьой (ОЛ цине ди ка 5 жестко соединенное в областях рчснэ ерно разменянных по периферии с /MICHом ;олщи- н которого вибоэча и проделэнного исо мошенк 2 ил К С

j Hi ЦСМфП м ИОГО И

HI п uf -ч-i ч пи ч и и /н г v 4,ptifiN

i jit u j и г ембрччи примем

)ф(Ш ча ИРМ ВЫХОДНОЮ CtM г1

П - II, Ј .ЫП И I н10 ШИ1И /J

с I И1 СП(ДуК Т1ЦИЧ RCi(jrif -, Л(1,Ч1

г |я дпька напрлж -1 ий от

ЧЩ -Л ОПЬЧОГО УЧЗСТ Г f И ВО 3- E LITH/TL

пен i рапьны ального ,п

jl ДОПО - 11

;ефпркость

Пьчь 5f

о р

к дэвлаш

га у/ми.орпус с ,чдрп 1C M опор iHM осниванисм мемир иу ь -гсэ.кип цен r j ом могю, иом эс юва- нип г образован1/ ем консольного i ерифе- р иного v laciKd юг-шиной р нмнгй толщмне мембраны диск рас полсж мньи с зазором ,ТНОСИТРПЬНО гчеморэны устачоронную и емкостннй пг обпазог,,агель

;itfK0pMai ии вЫПОЛ ННг f В ВИ1РДЗу- П ч ПрОТ ИР ЛГ SK -1ЩИ НЮ1 т- inp ЮЛО КС i.

иых no и на не с i {jei и и г к iHh1 и диска, n i л и ч з 10 ui и и г г it-м и иелыо г ir г еоа /ГЛНЧГР MI irv и гчия нелин° осги пе одноГ (и в j - (hr)pu4hc i ол1 uo закреплено 1 1 геоиф рии /( чгпмш1 з мемОряны п -т-н. которо.опро ножной оСпэ i i uarnc/ij сни эяек- го а и кольца вы f ищ-чо i,r i 1 uu i i3

/10/iL. PHI - ТОЛЩИ i HI i il f- r/, (j/ lUHHf Д 1C

ка при : i л лис-- j/ei т, t ,.1 t -нон по периС КОЛЬЦОМ - Т МП 1Н li И I- иг 1 I OCT Ь с) Ч1- Obr .i i И И

hfl-(VlO -VlOO) г.м, 0Д И0-1OODMу

г

10

Сриг, 1

8

2%WЈZZZZ% fc

Фиг. 2

где hM - толщина мембраны; DM - жесткость мембраны.

к

//