Датчик точки росы Советский патент 1991 года по МПК G01N7/12 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, служащим для измерения влажности и контроля герметичности в герметизированных корпусах микросборок и модулей электронной техники.

Целью изобретения является повышение чувствительности и сокращение времени отклика.

На фиг.1 показан датчик точки росы; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - узел I на фиг.1; на фиг.4 - разрез Б-Б на фиг.З.

Датчик точки росы содержит тонкопленочную встречно-штыревую структуру потенциальных электродов 1, расположенных через адгезионный слой 2 на диэлектрической подложке 3. Между потенциальными электродами 1 на поверхности адгезионного слоя 2 расположена островковая структура 4 так называемой диспергированной

пленки из проводящего материала. Контактные площадки 5 служат для присоединения датчика к измерительной схеме.

Датчик работает следующим образом.

Посредством контактных площадок 5 датчик подключен к внешней для микросборок измерительной схеме, с которой подается электрический потенциал, провоцирующий процесс фиксации точки росы.

При отсутствии росы на контролируемой поверхности эквидистантного зазора между потенциальными электродами 1, образующими мехсду собой встречно-штыревую структуру, сопротивление датчика равно сопротивлению адгезионного слоя 2, расположенного па диэлектрической подложке 3.

При выпадении росы на контролируемой поверхности ее капельки закорачивают межэлектродное пространство по цепи

О

ю

к

VI

водящих островков 4 диспергированной пленки.

Островковай структура 4 диспергированной пленки в момент выпадения росы является дополнительным источником эмиссии токоиосителей, а роса - средой, активирующей перемещение токоносителей сразу по всей поверхности зазора между потенциальными электродами 1, т.е. как по островкам 4, так ш по адгезионному слою 2,

При выпадении росы происходит лавинообразное нарастание и перемещение потенциального барьера для любой конкретной пары смежных островков 4 диспергированной пленки, что эквивалентно быстрому сближению потенциальных элек0

5

тродов 1 и срабатыванию датчика, что выражается в резком скачке проводимости, фиксируемом измерительной схемой. Формула изобретения Датчик точки росы, содержащий встречно-штыревую структуру, расположенную на диэлектрической подложке с адгезионным для потенциальных электродов встречно- штыревой структуры слоем, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и сокращения времени отклика, между потенциальными электродами встречно-штыревой структуры на поверхность адгезионного слоя нанесена остро- вковая структура из проводящего материала.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, служащим для измерения влажности и контроля герметичности в герметизированных корпусах микросборок и модулей электронной техники, и может быть использовано в электронной и других отраслях промышленности. Цель изобретения - повышение чувствительности датчика и сокращение времени отклика. Датчик содержит встречно-штыревую структуру потенциальных электродов, расположенную на диэлектрической подложке с адгезионным для потен- циальных электродов слоем. Между потенциальными электродами на поверхность адгезионного слоя нанесена остро- вковая структура из проводящего материала. 4 ил.

Фиг.З