Устройство для подачи ленты в вакуум Советский патент 1992 года по МПК H01J9/48 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при изготовлении электронных и газоразрядных приборов.

Целью изобретения является уменьшение деформации ленты.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 разрез В-В на фиг. 2; на фиг. 5 - разрез Г-Г на фиг. 3.

Устройство (фиг. 1) содержит камеру 1 первичной откачки, камеру 2 вторичной откачки, уплотнительный блок 3. Камеры 1, 2 разделены перегородкой 4, а с наружных торцов закрыты крышками 5 и 6.

Камеры 1 и 2, перегородки 4 и крышки 5 и 6 стянуты между собой шпильками 7. Уплотнительный блок 3 дополнительно поджимается в осевом направлении крышкой 8. Уплотнительный блок 3 состоит из двух плит; верхней 9 и нижней 10. соединенных с боков планками 11 (фиг. 2, 3).

Уплотнениемежду плитами 9,10 и планками 11 создается с помощью эластичных уплотнителей 12. В плитах 9, 10 установлены горизонтальные и вертикальные ролики 13.И 14 соответственно в отверстия 15 и 16 (фиг. 4, 5). причем между цилиндрическими поверхностями роликов и стенками отверстий 15, 16 образуется щель 17 величиной просвета от 0,0004 до 0,002 от диаметра роликов. Для откачки газов из щелевого канала в уплотнительном блоке имеются отверстия 18 и 19 соответственно в зонах камер 1, 2 первичной и вторичной откачек. Камеры 1 и2 с вакуумнойоткачной системой связаны через патрубки 20 и 21.

Щелевые каналы 22 совместно с щелями 17, образуемыми уплотнительным блоком 3 и роликами 13, 14, в совокупности с первичной и вторичной откачками через отверстия 18 и 19, патрубки 20 и 21 (фиг, 1) создают условия для надежного ограничения натекания в вакуумную камеру. Щелевой канал в уплотнительном блоке 3 в поперечном сечении определяется размерами Si X BI. Ролики установлены так, что лента не может касаться стенок щелевого канала, так как расстояния между горизонтальными роликами $2 и вертикальными роликами 82 меньше соответствующих им размеров щели Si и Bi, причем должно быть соблюдено условие Bi 82 и Si S2.

Устройство работает следующим образом.

Вводимая в вакуум лента 23 протягивается Через щелевой канал 24 между роликами 13 и 14 и, пройдя через щель в К1эышке 6,

попадает в вакуумную камеру, где осуществляются технологические операции.

Для того, чтобы исключить натекания в вакуумную камеру, к которой ввод подсоединяется через крышку 6, из камеры 7 первичной откачки откачиваются газы форвакуумным насосом, а из камеры 2 вторичной откачки - вакуумным насосом второй ступени.

0Газы, проникающие из атмосферы через входное отверстие в крышке 8, откачиваются через отверстия 18 и патрубок 20, а те частицы газа,-которые проникают далее зоны камеры 1, откачиваются через отверстия 19 и патрубок 21. Так как лента проходит по щелевому каналу 24, ограниченному горизонтальными и вертикальными роликами 13, 14, то для проникновения газов извне остаются щели между уплотнительным блои ком 3 и лентой, а также щель 17 между уплотнительными блоками и роликами. Пределы веп.чины щели 17 между роликами и стенками отверстий 15, 16 определены опытным путем. При этом увеличение щели

5 выше 0,002 от диаметра ролика приводит к чрезмерному натеканию газов, а уменьшение зазора ниже 0,0004 от диаметра ролика - к помехам свободного вращения роликов. Угол охвата роликов телом уплотнительного

0 блока выполнен более 180° с тем. чтобы увеличить длину щели, образуемой роликами.

При макетировании был изготовлен и испытан ввод для ленты толщиной 0,7 мм и

5 шириной 40 мм, ролики имели предельное

- О 006 отклонение диаметра 15 - пп17

верстия / 15 + 0,011. Возможны два предельных значения: наименьший зазор,

0 равный 0,006 мм. и наибольший зазор, равный 0,028 мм, что соответствует диапазону (0,0004-0.0018)0.

Устройство позволяет увеличить длину щелевого канала без увеличения длины самого щелевого канала. При этом увеличивается сопротивление натеканию газов в вакуумную камеру, увеличивается процент выхода годной продукции за счет снижения брака по отслою. Одной из причин появления отслоя, отсутствия сцепления между

0 плакируемыми материалами является загрязненность соприкасаемых поверхностей или их травмирование, нарушение активного слоя после зачистных машин,

Устройство, в котором обеспечивается

5 надежное ограничение натекания газов через уплотнительный блок в вакуумную камеру, путем выполнения щелевого канала большой протяженности и исключения травмирования поверхности ленты, путем

установки свободно проворачиваемых горизонтальных и вертикальных роликов, которые не позволяют ленте касаться стенок щелевого канала, испытано в составе автоматизированной линии по производству биметаллической проволоки. Устройство показало надежную работу в вакуумной камере.

Формула изобретения Устройство для подачи ленты в вакуум, содержащее защитную вакуумную камеру, в которой размещен уплотнительный блок с горизонтальным щелевым каналом для подачи ленты и уплотняющими горизонтальными зеркально-симметричными роликами,

А-А

12

о т л и чающееся тем, что, с целью уменьшения деформации ленты, в него введены вертикальные направляющие ролики, установленные попарно и зеркально-симметрично относительно вертикальной плоскости симметрии горизонтального щелевого канала в промежутках между горизонтальными уплотняющими роликами, при этом между поверхностью каждого ролика и телом уплотнительного блоки выполнена щель, поверхность которой со стороны блока охватывает большую часть периметра окружности ролика и сопряжена с поверхностью щелевого канала, а ширина щели

выбрана равной (0,0004-0,002)0, где D - диаметр ролика.

11

6-6

Фиг.З

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при изготовлении электронных и газоразрядных приборов. Целью изобретения является уменьшение деформации ленты. Устройство для подачи ленты в вакуум содержит камеры 1 и 2, уплотнительный блок 3, перегородку 4, крышки 5 и 6, шпильки 7. Блок 3 состоит из верхней и нижней плит, соединенных планками, которые уплотняются уплотнителями. В плитах установлены ролики в отверстиях. Ролики образуют щель. В блоке 3 выполнены отверстия 18 и 19, Камеры 1 и 2 откачиваются через патрубки 20 и 21. Лента 23 протягивается через щелевой канал, при этом обеспечивается сохранность боковых участков ленты. 5 ил.I --,«оелс/ZOXIОю4i^ Ю 4^>&