Кассета-накопитель для полупроводниковых пластин Советский патент 1992 года по МПК H01L21/68 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, и может быть использовано в автоматизированных технологических линиях для межмодульной транспЪртировки полупроводниковых пластин.

Цель изобретения - расширение технологических возможностей.

На фиг.1 - общий вид устройства: на фиг.2 - то же, вид сверху.

Кассета-накопитель содержит основание 1 и крышку 2, герметично-соединенные между собой с образованием полости 3, загрузочный шлюз 4. вкладыш 5. Крышка 2 футерована снизу фторопластом 6. Загрузочный шлюз 4 представляет собой цилиндр с фланцем для плотной стыковки с технологическими модулями. Вкладыш 5 в виде поворотного диска размещен в полости 3 и прижат (подпружинен) к фторопласту 6 футерощки и крышке 2. Ось вкладыша герметизирована в осевом отверстии основания с помощью вильсоновского уплотнения 7. Верхняя поверхность вкладыша 5 имеет заглубленные круглые гнезда 8 для горизонтального размещения полупроводниковых пластин. Гнезда 8 расположены по дуге окружности сцентром на оси вкладыша и радиусом, равным расстоянию от центра оси вкладыша до центра отверстия загрузочного шлюза 4. Длина дуги ограничена сектором, пере1 рывающим отверстие загрузочного шлюза. Футеровка крышки 2 имеет со стороны крышки кольцевую проточку вокруг загрузочного шлюза с заложенным в нее подпружиненным резиновым кольцом 9, чем достигается скользящее герметичное уплотнение загрузочного шлюза к вкладышу.

Кассета-наког)итель работает следующим образом.

В исходном состоянии отверстие загрузочного шлюза 4 перекрыто вкладышем 5 и внутренний объем кассеты вакуумно-плот но герметизирован относительно внешней среды. При работе с технологическими модулями кассета устанавливается под входным(выходным)отверстием технологического модуля и уплотняется к нему фланцем загрузочного шлюза 4. Вращением вкладыша 5 производится последовательный вывод гнезд 8 под отверстие загрузочного шлюза 4 с одновременной разгерметизацией части внутреннего объема кассеты во внутренний объем технологического модуля. Полупроводниковые пластины загружаются в гнезда или разгружаются из гнезд соответствующим

устройством модулей (например, эжекторным или грейферным захватом). По окончании загрузки или выгрузки кассеты-накопителя дальнейшее вращение вкладыша 5 герметизирует объем кассеты,

кассета отсоединяется от модуля и переносится к следующему модулю, где процесс перегрузки пластин повторяется.

Таким образом процессы загрузки-выгрузки и переноса полупроводниковых пластин от модуля производятся при вакуумно-плотной защите пластин от окружающей среды, что полностью исключает попадание на них пыли и влаги и делает возможным (при соответствующей герметизации технологических модулей) реализацию технологического процесса в помещениях обычного типа. Объединение функций разгерметизации кассеты в модуль и подачи пластин на позицию загрузки упррщаёт задачу автоматизации процесса, сводя его 1C повороту вкладыша на заданный угол, что резко увеличивает технологичность и надежность конструкции.

Формула изобретения

1. Кассета-накопитель для полупроводниковых пластин, содержащая основание, крышку и вкладыш с гнездами на его поверхности для размещения полупроводниковых пластин, отличающаяся тем, что,

с целью расширения технологических возможностей, основание и крышка герметично соединены между собой с образованием замкнутой полости, в которой расположен вкладыш, крышка снабжена расположен.ным эксцентрично ее оси симметрии загрузочным шлюзом, вкладыш снабжен валом, соединенным с приводом его вращения и установленным в осевом отверстии, выполненном в основании, причем гнезда для размещения полупроводниковых пластин и загрузочный шлюз расположены падуге концентричной геометрической оси вращения вкладыша с образованием сектора для перекрытия загрузочного шлюза.

2. Кассета-накопитель по п. 1. от л и чающая с я тем, что крышка снабжена расположенным на ее внутренней поверхности слоем фторопласта и резиновой прокладкой, расположенной вокруг загрузочного шлюза со стороны крышки.

й/гг

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, и Moxej быть использовано в автоматизированных технологических линиях для межмодульной транспортировки полупроводниковых пластин. Цель изобретения - расширение технологических возможностей -достигается тем. что основание и крышка герметично соединены между собой с образованием замк'нутой полости, в которой расположен вкладыш 5, крышка 2 снабжена расположенным эксцентрично ее оси симметрии загрузочным шлюзом 4, вкладыш 5 снабжен валом, соединенным с приводом его вращения и установленным в осевом отверстии, выполненном в основании, рричем гнезда 8 для размещения полу- проводниковых пластин и нагрузочный шлюз расположены по дуге концентричной геометрической оси вращения вкладыша с образованием сектора для перекрытия нагрузочного шлюза. Устройство также содержит основание 1, полости 3, фторопласт 6, вильсоновское уплотнение 7, резиновое кольцо 9. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.^Ою ь.соо>&Щиг.1