Контактное устройство Советский патент 1991 года по МПК H05K1/18 H05K1/18 

Фиг. 1

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для контроля микросборок, работающих в СВЧ- диапазоне.

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей при контроле СВЧ-схем.

На фиг.1 представлено устройство, общий вид; на фиг.2 - кинематическая схема устройства.

Контактное устройство содержит рычаг 1 первого рода, который крепится на пружине 2 с возможностью поворота вокруг оси 3 вращения, параллельной плоскости контролируемого изделия 4, к корпусу держателя 5. На одном из плеч рычага 1 закреплен игольчатый зонд 6, электрически соединенный с внутренним выводом коаксиального тракта 7. На рычаге 1 закреплены пружинный контакт 8 и пружина 9, выполненная с возможностью регулирования усилия за счет выполнения отверстий 10 на поверхности рычага 1, куда заводится конец пружины 9. Кроме того, на рычаге 1 закреплен второй подпружиненный с помощью пружины 9 рычаг 11 первого рода с осью 12 вращения в плоскости оси иглы зонда 6 Рычаг 11 соединен с внешним проводником (экранирующей оплеткой) коаксиального тракта 7. На плече рычага 11 закреплен второй игольчатый зонд 13 с возможностью продольного перемещения вдоль рычага 11. Продольное перемещение зонда 13 вдоль рыча а 11 обеспечивается тем, что в рычаге 11 выполнен паз 14, по которому зонд 13 перемещается с помощью ходового винта 15. Закрепление (фиксация) зонда 13 в требуемом положении осуществляется с помощью фиксирующего винта 16. На держателе 5 закреплен пружинный контакт 17, выполненный с возможностью взаимодействия с контактом 8, закрепленным на рычаге 1. Контакты включены в электрическую цепь сигнализации, содержащую сигнальную лампу 18.

Контактное устройство предназначено для контроля микросборок и устройств, работающих в СВЧ-диапазоне, в частности для снятия амплитудно-частотных характеристик (АЧХ) с помощью измерителей АЧХ- приборов XI-42 и (XI-37, XI-48), и работает следующим образом.

В исходном состоянии электрически соединенный с внешним выводом коаксиального тракта 7 зонд 13 смещен вниз относительно зонда 6 за счет того, что под действием пружины 9 рычаг 11 поворачивается вокруг оси 12 вращения, лежащей в плоскости оси иглы зонда 6. Зонд 13 приводится в соприкосновение с земляной точ-.

кой проверяемого изделия 4. Под воздействием внешнего усилия, прилагаемого к держателю 5 сверху вниз, зонд 13, упираясь в контактную площадку испытуемого изделия

4, преодолевая сопротивление пружины 9, заставляет поворачиваться рычаг 11 вместе с зондом 6 вокруг оси 12 вращения. Рычаг 11 поворачивается вокруг оси 12 вращения, в результате чего осуществляется соприкос0 новение зонда 6 с второй контактной площадкой испытуемого изделия 4.

Таким образом оба зонда оказываются контактирующими с контактными площадками испытуемого изделия 4.

5При этом зонды 6 и 13 не оказывают

разрушающего воздействия на контактные площадки. Во-первых, усилие пружины 9 регулируется таким образом, что обеспечиваема контактирование зонда 13 без

0 разрушения контактной площадки, во-вторых, после соприкосновения зонда 6 с контактной площадкой давление зондов 6 и 13 контролируется с помощью сигнальной цепи, включающей контакты 8 и 17 и лампочку

5 18.

В результате при работе зонды 6 и 13 приводятся в соприкосновение с элементами испытуемого изделия 4 до тех пор, пока в результате преодоления усилия пружины

0 2 контакт 8 на рычаге 1 не соприкоснется с контактом 17 на держателе 5, при этом загорается лампочка 18, сигнализирующая о необходимости прекращения усилия на держатель 5. Это дает возможность

5 предотвратить чрезмерное давление на поверхности испытуемого изделия 4, которое могло бы разрушить его токопроводящее покрытие.

Предлагаемое контактное устройство

0 позволяет осуществить работу в СВЧ-диапазоне и повысить глубину контроля, так как оно позволяет осуществить электрический контакт с любыми элементами контролируемого изделия независимо от плотности и

5 конфигурации их расположения на подложке и от величины их контактных площадок, что позволяет не только осуществить выходной контроль всей микросборки, но и измерить параметры отдельных элементов и

0 Функциональных узлов, Контактное устройство позволяет оперативно производить межоперационный и выходной контроль параметров СВЧ-устройств и микросборок в процессе их изготовления и эксплуатации,

е обеспечивая идентичность результатов серии одинаковых измерений, приведенных на одном и том же изделии.

Формула изобретения Контактное устройство, содержащее подпружиненный рычаг первого рода с

игольчатым зондом, закрепленным на одном из его плеч, и с осью вращения, параллельной плоскости контролируемого изделия, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных воз- можностей при контроле СВЧ-схем, на рычаге закреплен второй подпружиненный

рычаг первого рода с осью вращения, расположенной в плоскости оси иглы зонда, причем на плече второго рычага закреплен второй игольчатый зонд, первый зонд выполнен в виде коаксиального тракта, внешний проводник которого соединен с вторым рычагом.

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для контроля микросборок, работающих в СВЧ-диа- пазоне. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей при контроле СВЧ-схем. Под действием внешнего усилия, прилагаемого к держателю 5, зонд 13 преодолевает сопротивление пружины 9, поворачивает рычаг 11. Зонды 6 и 13 приводят в соприкосновение с изделием 4 до тех пор, пока контакт 8, преодолевая усилие пружины 2, не соприкоснется с контактом 17 на держателе 15. При этом загорается сигнальная лампочка 18. 2 ил.

hf.2