Материал для электронно-лучевого формирования в нем рефракционных интегрально-оптических элементов Советский патент 1992 года по МПК C03C23/00 G11B11/03 

Описание патента на изобретение SU1721033A1

Изобретение относится к технике изготовления оптических и интегрально-оптических элементов.и конструкций в прозрачных средах, а именно к прозрачным в широкой спектральной области (от ближней ульт- рафиолетовой области до ближней инфракрасной) материалам, предназначенным для электронно-лучевого формирования в них указанных элементов и конструкций.

Цель изобретения - повышение чувствительности материала к электронно-лучевому воздействию.

Применение фосфатного стекла на основе метафосфата алюминия, содержащего катионы-модификаторы Згили Cd, в качестве материала для электронно-лучевого фор- мирования интегрально-оптических

элементов основано на физике химических изменений, происходящих в них при воздействии электронным пучком с энергией 3-30 кЭВ и при дозе поглощенных электронов более 6-10 электронов/см и приводящих к существенному увеличению их показателя преломления.

Способность изменять показатель преломления под действием электронного луча указанных энергий сохраняется во всем достаточно узком интервале указанных изменений состава. При одинаковых энергиях электронов, диаметре электронного пучка и дозе облучения возникающее относительное изменение показателя преломления незначительно различается для стекол с разным соотношением компонентов в

ND о

сэ со

делах указанного диапазона изменения состава.

Перед использованием стекла по новому н-азчачению его поверхность покрывают вспомогательной тонкой ( 1000 А)электро- и теплопроводящей пленкой металла (например Аи, In, AI), которая после электронно-лу- чевой обработки может быть при необходимости снята механическим или химическим путем.

Пример. Оптически полированный образец стекла состава 0,5С P20s - 0,455 Sr - 0.025 А1гОз локально облучают электронным пучком диаметром 3 мкм при энергии электронов 25 кэВ и дозе поглощенных

1А 7

электронов электронов/см с помощью электронно-зондового микроанализатора. При этом плотность поглощенного образцом тока пучка составляет 1,3 А/см , скорость перемещения пучка по образцу 100 мкм/мин. В процессе облучения разогрев стекла под пучком не превышает 80°.

Облученный участок (полоса) характеризуется увеличением оптической разности хода в его центре, равном -1000А и средним (по глубине) относительным изменением показателя преломления 5п/п 1,5%.

Электронное облучение изменяет не только показатель преломления стекла, но и его коэффициент вторичной эмиссии электронов, что дает возможность производить не только оптическое, но и электронно-лучевое воспроизведение записанной на таком стекле информации.

Применение в качестве материала для электронно-лучевого формирования рефракционных интегрально-оптических элементов стекла состава 53 P20s - 44,5 CdO -- 2,5 А120з дает аналогичные результаты, а именно относительное изменение показателя преломления бп/п (1,4± 0,3)% при

дозе облучения 2-Ю18 электронов/см .

Таким образом, относительное изменение показателя преломления в фосфатных стеклах предлагаемого состава при локальном электронном облучении в 3-4 раза выше, чем в случае применения плавленого кварца, и достигается при дозах, в 5. раз меньших.

Формула изобретения Применение оксидного фосфатного

лазерного стекла на основе метафосфата алюминия, содержащего катионы-модификаторы Sr и Cd при следующем соотношении компонентов, мол;%: РаОб 52-58;

МеО35-45;

А 20з2-8,

где Ме Sr или Cd,

в качестве прозрачного материала для электронно-лучевого формирования в нем рефракционных интегрально-оптических элементов и структур, основанных на явлении рефракции света.

Похожие патенты SU1721033A1

название год авторы номер документа
Прозрачный материал для электронно-лучевого формирования в нем рефракционных интегрально-оптических элементов и структур 1990
  • Ормонт Александр Борисович
  • Изынеев Анатолий Андреевич
  • Длугач Лариса Борисовна
  • Кравченко Валерий Борисович
  • Бывалин Дмитрий Алексеевич
  • Копылов Юрий Леонидович
SU1765129A1
Носитель для электронно-лучевой записи и оптического воспроизведения информации и способ изготовления информационной структуры на этом носителе 1990
  • Ормонт Александр Борисович
  • Бывалин Дмитрий Алексеевич
  • Длугач Лариса Борисовна
SU1780105A1
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПОГРУЖЕННОГО ОПТИЧЕСКОГО ВОЛНОВОДА В СТЕКЛЕ 2010
  • Сидоров Александр Иванович
  • Никоноров Николай Валентинович
  • Игнатьев Александр Иванович
  • Подсвиров Олег Алексеевич
  • Жигалов Андрей Александрович
RU2453511C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕЛИНЕЙНО-ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ НА ПОЛИМЕРНОЙ ОСНОВЕ 1997
  • Степанов А.Л.
  • Хайбуллин Р.И.
  • Абдуллин С.Н.
  • Хайбуллин И.Б.
RU2125286C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АЛМАЗНОЙ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ 2016
  • Степанов Андрей Львович
  • Нуждин Владимир Иванович
  • Валеев Валерий Фердинандович
  • Галяутдинов Мансур Фаляхутдинович
  • Курбатова Надежда Васильевна
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич
  • Осин Юрий Николаевич
RU2659702C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕЛИНЕЙНО-ОПТИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА 1999
  • Степанов А.Л.(Ru)
  • Хайбуллин И.Б.(Ru)
  • Таунсенд Питер
  • Холе Дэвид
  • Бухараев А.А.(Ru)
RU2156490C1
ПОДЛОЖКА ДЛЯ БИОЧИПА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ 2009
  • Сидоров Александр Иванович
  • Никоноров Николай Валентинович
  • Цехомский Виктор Алексеевич
  • Игнатьев Александр Иванович
  • Подсвиров Олег Алексеевич
  • Нащекин Алексей Викторович
  • Усов Олег Алексеевич
RU2411180C1
ФОСФАТНОЕ СТЕКЛО ДЛЯ ПОГЛОЩАЮЩИХ ОБОЛОЧЕК ДИСКОВЫХ АКТИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ 2014
  • Арбузов Валерий Иванович
  • Ворошилова Марина Васильевна
  • Никитина Светлана Игоревна
  • Смирнов Роман Владимирович
  • Федоров Юрий Кузьмич
RU2554961C1
СПОСОБ СТЕРИЛИЗАЦИИ И ЗАЩИТЫ ОТ ПОДДЕЛОК ПРОДУКЦИИ, РАЗМЕЩЕННОЙ В СТЕКЛЯННОЙ УПАКОВКЕ 2001
  • Бутин В.И.
  • Давыдов Н.Н.
  • Цветкова Т.Ю.
RU2183466C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОВ ФАНТАЗИЙНОГО ЖЕЛТОГО И ЧЕРНОГО ЦВЕТА 2010
  • Лопатин Олег Николаевич
  • Николаев Анатолий Германович
  • Нуждин Владимир Иванович
  • Хайбуллин Рустам Ильдусович
RU2434977C1

Реферат патента 1992 года Материал для электронно-лучевого формирования в нем рефракционных интегрально-оптических элементов

Изобретение относится к технике накопления информации, а именно к прозрачным материалам, предназначенным для . 2 электронно-лучевой записи оптически воспроизводимой информации путем создания в них прозрачных фазосдвигающих элементов. Кроме того, изобретение относится к технике изготовления в прозрачных средах оптических и интегрально-оптических элементов и конструкций, основанных на явлении рефракции. Цель изобретения - повышение чувствительности материала к электронно-лучевому воздействию. Поставленная цель достигается применением оксидного фосфатного стекла на основе метафосфата алюминия, содержащего катионы-модификаторы Sr или Cd при следующем соотношении компонентов, мол,%: Р205 52-58, МеО 35-45, 2-8, где Me Sr или Cd. При воздействии электронным пучком с энергией 3-30 кэВ и при дозе поглощенных электронов более 610 электронов/см существенно увеличивается показатель преломления данного стекла. &

Формула изобретения SU 1 721 033 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1992 года SU1721033A1

Honghton А.Т., Towhsend P.O
Optical Wavegnides Formend by Low Energy Electron Irradiation of Silica
- Appl
Phys
Lett,, 1976, v
Солесос 1922
  • Макаров Ю.А.
SU29A1
СУРДИНА ДЛЯ МЕДНЫХ ДУХОВЫХ ИНСТРУМЕНТОВ 1923
  • Д'Альфонзо В.Р.
SU569A1

SU 1 721 033 A1

Авторы

Ормонт Александр Борисович

Изынеев Анатолий Андреевич

Длугач Лариса Борисовна

Кравченко Валерий Борисович

Бывалин Дмитрий Алексеевич

Копылов Юрий Леонидович

Даты

1992-03-23Публикация

1989-04-10Подача