Преобразователь давления и способ его изготовления Советский патент 1992 года по МПК G01L9/04 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к преоб разователям давления, и позволяет повысить чувствительность и точность преобразователя. Преобразователь содержит профилированную мембрану 1 со сформированными на ней через слой диэлектрика 2 тензорезисторами 3. Причем мембрана и тензорезисторы выполнены из идентичной легированной бором до а - Ь концентрации не менее 5-Ю см пленки кремния, а между тензорезисторами на мембране нанесена аналогичная пленка 5, отделенная от тензоре- зисторов воздушным зазором 6. При изготовлении преобразователя две кремниевые пластины со сформированными легированными слоями 8 соединяют между собой через слой диэлектрика в еди- ном процессе травления, удаляют кремний по всей поверхности до легированного слоя на верхней пластине и локаль-о но в областях мембран на нижней плас- тине и фотолитографией: формируют воздушные зазоры 6, отделяющие тензорезисторы 3 от легированной пленки 5. 2 с.п.ф-лы, 7 ил. 1 (Л С.

Фи&.2

s s S Л S ss s SsStjr

3±/т Риг.З

Фиг.Ь

8 tO fi

J2 Фиг. S

7777 / / 7 7 / 7 / 7 :.y.

/ /

/ 7 7/77/ / 7

Put.l