Способ масс-спектрометрического анализа поверхности методом ионно-циклотронного резонанса Советский патент 1992 года по МПК H01J49/38 

Описание патента на изобретение SU1739398A1

СП

с

Похожие патенты SU1739398A1

название год авторы номер документа
Детектор ионов 1989
  • Коненков Николай Витальевич
  • Кратенко Владимир Иванович
  • Могильченко Георгий Алексеевич
  • Черняк Евгений Яковлевич
  • Коновалов Василий Александрович
SU1644255A1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА И ТОЛЩИНЫ ПОВЕРХНОСТНОЙ ПЛЕНКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА ПРИ ВНЕШНЕМ ВОЗДЕЙСТВИИ НА ПОВЕРХНОСТЬ 2012
  • Курнаев Валерий Александрович
  • Мамедов Никита Вадимович
  • Синельников Дмитрий Николаевич
RU2522667C2
СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ СПЕКТРОВ УПРУГОГО ОТРАЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ 1990
  • Давыдов С.Н.
  • Кораблев В.В.
  • Кудинов Ю.А.
RU2020647C1
СПОСОБ СТРУКТУРНО-ХИМИЧЕСКОГО АНАЛИЗА ОРГАНИЧЕСКИХ И БИООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ НА ОСНОВЕ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО И КИНЕТИЧЕСКОГО РАЗДЕЛЕНИЯ ИОНОВ ЭТИХ СОЕДИНЕНИЙ 2009
  • Разников Валерий Владиславович
  • Зеленов Владислав Валерьевич
  • Апарина Елена Викторовна
  • Разникова Марина Олеговна
  • Пихтелев Александр Робертович
  • Сулименков Илья Вячеславович
  • Чудинов Алексей Владимирович
  • Савенков Геннадий Николаевич
  • Тихомиров Леонид Алексеевич
RU2402099C1
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ИОНОВ ОРГАНИЧЕСКИХ И БИООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ В УСРЕДНЕННОМ ПО ВРАЩЕНИЯМ ИОНОВ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ПОЛЕ СЕКЦИОНИРОВАННОЙ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ЯЧЕЙКИ 2011
  • Разников Валерий Владиславович
  • Козловский Вячеслав Иванович
  • Сулименков Илья Вячеславович
RU2474917C1
Способ анализа материалов 1988
  • Гетманец Олег Михайлович
  • Пелихатый Николай Михайлович
  • Стешенко Сергей Андреевич
  • Титова Светлана Павловна
SU1695197A1
Способ анализа ионов по энергиям, массам и зарядам и устройство для его осуществления 2019
  • Строкин Николай Александрович
  • Нгуен Тхе Тханг
  • Казанцев Александр Владимирович
  • Бардаков Владимир Михайлович
RU2708637C1
Способ энерго-масс-спектрометрического анализа вторичных ионов и устройство для энергомасспектрометрического анализа вторичных ионов 1986
  • Кузьмин Александр Федорович
  • Саченко Вячеслав Данилович
SU1460747A1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ В ТВЕРДОМ ТЕЛЕ 2010
  • Барченко Владимир Тимофеевич
  • Лучинин Виктор Викторович
  • Пронин Владимир Петрович
  • Хинич Иосиф Исаакович
RU2426105C1
Способ диагностики электрических полей в электронных приборах 1975
  • Соминский Г.Г.
  • Цыбин О.Ю.
SU548126A1

Иллюстрации к изобретению SU 1 739 398 A1

Реферат патента 1992 года Способ масс-спектрометрического анализа поверхности методом ионно-циклотронного резонанса

Использование: научное приборостроение, техника масс-спектрометрии, Сущность изобретения: ионы, образованные в источнике 1, ускоряются в поле, создаваемом сеткой 2 и держателем 9. С помощью сетки 3 происходит управление первичным ионным пучком, отраженные ионы которого несут информацию об исследуемой поверхности. Развертку энергетического спектра осуществляют изменением потенциала исследуемой поверхности. При повышении потенциала на пластине 7 в измерительной

Формула изобретения SU 1 739 398 A1

13

N

jCO

Ю

00

|0

loo

ячейке запираются отраженные ионы, имеющие энергию Ез + ДЕ, где ДЕ - величина, на которую понижается потенциал пластины 7. Ионы, имеющие энергию, меньшую Ез, задерживаются в тормозящем поле сетки 8, а ионы, имеющие энергию, большую Ез + АЕ, пролетают ячейку, не удерживаясь в ней. Таким

Изобретение относится к научному приборостроению, к технике масс-спектромет- рии, в частности к способу исследования состава поверхности, анализа и идентификации веществ,

Известны способы масс-спектрометри- ческого анализа поверхности методом ион- но-циклотронмого резонанса, в которых в качестве ионов, несущих информацию об исследуемой поверхности, используются вторичные ионы, образующиеся на поверхности при воздействии на нее лазерного излучения.

Но при этом происходит разрушение поверхности, выход вторичных ионов зависит от типа поверхности, что затрудняет ко- личественный анализ состава поверхности.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ масс-спектрометрического анализа поверхности методом ИЦР, заключающийся в ре- гистрации ионов, выбитых из поверхности первичным ионным пучком вторичных ионов, несущих информацию об исследуемой поверхности.

Однако известный способ имеет следу- ющие недостатки. Для образования вторичных ионов из исследуемой поверхности необходимы первичные ионы высокой энергии, что приводит к разрушению поверхности. Коэффициенты выхода вторичных ионов для различных поверхностей могут отличаться на несколько порядков, что затрудняет количественный анализ состава поверхности.

Цель изобретения - расширение функ- циональных возможностей за счет обеспечения неразрушающего поверхность режима работы и повышения точности определения состава поверхности при исполь- зовании в качестве ионов, несущих информацию о поверхности, отраженных ионов первичного пучка.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу масс-спектрометрического анализа поверхности методом ионно- циклотронного резонанса, по которому на исследуемую поверхность воздействуют пучком первичных ионов и ионы, несущие

образом происходит регистрация отраженных ионов, имеющих энергию от Е3 до Е3 + АЕ. Варьируя потенциал отЕ1 СдоЕ1 Ои измеряя интенсивности сигнала ИЦР при различных значениях потенциала поверхности Е3, получают спектр, линии которого соответствуют массам рассеивающих центров. 4 ил.

информацию об исследуемой поверхности, направляют в измерительную ячейку с последующей регистрацией масс-спектра, за счет обеспечения неразрушающего поверхность режима работы и повышения точности определения состава поверхности, в качестве ионов, несущих информацию от исследуемой поверхности, используют отраженные ионы первичного пучка, развертку энергетического спектра осуществляют изменением потенциала исследуемой поверхности, а энергию первичного пучка поддерживают постоянной путем регулирования потенциала источника первичных ионов, причем захват отраженных ионов в измерительную ячейку осуществляют путем импульсного увеличения потенциала торцовых пластин измерительной ячейки на величину энергетического разрешения захватываемых ячейкой отраженных ионов. На фиг.1 представлена диаграмма потенциалов, необходимая для осуществления данного способа; на фиг.2 - временная последовательность импульсов; на фиг.З - устройство для осуществления анализа поверхности предлагаемым способом, общий вид; на фиг.4 - полученный энергетический спектр пленки

FC-CO-TB.

В основе предлагаемого способа анализа поверхности лежит тот факт, что если налетающий ион с энергией Е0 и массой Mi соударяется с поверхностным атомом массы Ма и при этом рассеивается на угол в, то рассеянный ион имеет энергию EI, определяемую выражением

1

0+S)2

{COS0+ «{Ј MiMr

sin20) (1)

и если Mi и угол рассеяния заданы, а соотношение энергий определить экспериментально, то можно получить массу рассеивания М2.

Разрешение по массе определяется энергетической шириной спектра ионов рассеяния, которая зависит от разрешения экспериментальной установки по энергии и углу. Для детектора с достаточно малым углом сбора разрешающая способность по массе определяется разрешающей способностью экспериментальной установки по

энергии -др-

Из этого соотношения видно, что максимальное разрешение получается при угле 9 180° т.е. рассеивании назад. При предлагаемом способе анализа угол рассеивания равен 180°, что позволяет получать максимально возможное разрешение по массе.

Способ анализа осуществляется следующим образом.

Ионы, образованные в ионном источнике 1 (фиг.З), ускоряются в поле, создаваемом сеткой 2 и держателем 9. С помощью сетки 3 происходит управление первичным ионным пучком. В момент пропускания пучка (линия 1 на фиг.1 и импульс PI на фиг,2) потенциал пластины 7 понижен относительно потенциала пластины 6 (линия 2 на фиг.1 и импульс Р2 на фиг.З). При повышении потенциала на пластине 7 в измерительной ячейке 5 запрутся отраженные ионы, имеющие энергию (Ез + АЕ), где А Е - величина, на которую понижался потенциал пластины 7. Ионы, имеющие энергию, меньшую Ез, задерживаются в тормозящем поле сетки 8, а ионы, имеющие энергию, большую (Ез + ДЕ), пролетят ячейку, не удерживаясь в ней. Таким образом произойдет регистрация отраженных ионов, имеющих энергию от Ез до Ез + АЕ. Если теперь сменить потенциал сетки 2 и держателя Г. чЈиг.1), но EI - Ез Е2- - Е4 С, то соответственно теперь в измерительной ячейке будут регистрироваться отраженные ионы, имеющие энергию от ЕА до Е4 + АЕ, а энергия первичных ионов не изменится и будет равна С. Варьируя потен- циалы от EI С до EI 0 и измеряя интенсивности сигнала ИЦР при различных значениях потенциала поверхности Ез получим спектр, линии которого будут соответствовать (по формуле (1)) массам рассеивающих центров. Необходимым условием запирания является временное расположение импульсов 1 и 2. Время At

0

5

0

5

5

0

0 5 0 5

нарастания заднего фронта импульса 2 должно быть меньше минимального времени пролета отраженных ионов через измерительную ячейку, которое равно с, при энергии отраженных ионов, равной 103 В. Разрешение при данном способе будет определяться формулой (2) и основной вклад в разброс по массам будет давать разброс по энергии, который равен АЕ - величине опускания потенциала торцовых пластин.

Пример. Способом масс-спектромет- рического анализа поверхности методом ИЦР исследовалась тонкая металлическая пленка, применяемая для магнитной записи информации с известным составом Fe Со, ТЬ. Бомбардировка поверхности производилась импульсно, ионный пучок запирался сеткой 3 с временем 5 мс ионами Na- образованными в ионном источнике поверхностной ионизацией из соли NaCI Энергия первичных ионов равна 1 кэВ ионный ток 1- , Получение энергетического спектра отраженных ионов осуществляется последовательным измерением количества захваченных ионов Na+ по интенсивности сигнала ИЦР от них при различных значениях потенциала исследуемой поверхности. Энергетический спектр состо ит из 100 отдельных обработанных точек, соответствующих измеренным сигналам о- ионов Na , снятых при разной энергии с шагом по энергии 10 В. Пики полученного спектра соответствуют массам атомов поверхности: 54, 59, 159 а.е.м. (фиг.4). По интенсивности пиков можно оценить относительную концентрацию атомов в пленке. Интенсивности пиков: Fe- ТЬ - 28,9%, Со - 30%. Это близко к действительной концентрации этих веществ в пленке (Fe - 44%, ТЬ - 27%, Со - 29%),

Разрешение определяется формулой (2). Основной вклад в разброс по массам будет давать разброс по энергии, который равен АЕ - величине опускания потеи- циала торцовых пластин и в данном с тучае(АЕ 1В), Ю 4.

В масс-спектрах при указанных значениях энергий первичного пучкз ионов Na+ отсутствуют пики вторичных ионов, что свидетельствуете неразрушающем режиме работы.

Возможность неразрушающего исследования поверхностей твердых тел позволит расширить область применения масс-спектрометрии ионно-циклотронного резонанса, изучать процессы, происходящие не только в газовой фазе, но и на поверхности твердого тела.

Формула изобретения

Способ масс-спектрометрического анализа поверхности методом ионно-цикло- тронного резонанса, по которому на исследуемую поверхность воздействуют пучком первичных ионов и ионы, несущие информацию об исследуемой поверхности, направляют в измерительную ячейку с последующей регистрацией масс-спектра, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет обеспечения неразрушающего поверхность режима работы и повышения

Ј

0

5

точности определения состава поверхности, в качестве ионов, несущих информацию об исследуемой поверхности, используют отраженные ионы первичного пучка, развертку энергетического спектра осуществляют изменением потенциала исследуемой поверхности, а энергию первичного пучка поддерживают постоянной путем регулирования потенциала источника первичных ионов, причем захват отраженных ионов в измерительную ячейку осуществляют путем импульсного увеличения потенциала торцовых пластин измерительной ячейки на величину энергетического разрешения захватываемых ячейкой отраженных ионов.

Pi

1 СМГ 1000 I

800

600 400 200 200

,

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1992 года SU1739398A1

Sherman M.G
Kingsley I.R
and Mciver R.T
Analitica Chimica Acta , 1985,178.79-89
Castro M.E., Russel D.H
Anal
Chem, 1985
Способ окисления боковых цепей ароматических углеводородов и их производных в кислоты и альдегиды 1921
  • Каминский П.И.
SU58A1
ПРИБОР ДЛЯ ИНТЕГРИРОВАНИЯ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ И ДЛЯ НАХОЖДЕНИЯ КОРНЕЙ ЧИСЛЕННЫХ УРАВНЕНИЙ 1924
  • Гершгорин С.А.
SU1045A1
Вудраф В., Делчар Т
Современные методы исследования поверхности
- М.: Мир, 1989.

SU 1 739 398 A1

Авторы

Николаев Евгений Николаевич

Франкевич Владимир Евгениевич

Мордехай Александр Владимирович

Даты

1992-06-07Публикация

1990-03-12Подача