Устройство настройки электронно-оптической системы микрозондовых приборов Советский патент 1982 года по МПК H01J37/24 

опальный преобр;и)ователь, и юстирующие электроннооптические устройства, подключенные к управляемым источникам питания и установленные соосно с элементами ЭОС, функциональный преобразователь выполнен в виде программного устройства, подключенного к выходу системы выделения высокочастотной составляющей видеосишала и соединенного через компаратор с блоком коммутации, который соединен через цифро-аналоговые преобразователи с управляемыми источниками питания юстируюиих устройств и блоком управления током формирующей линзы.

На чертеже представлена блок-схема устройства.

Устройство содержит электронную пушку 1, блок, 2 конденсоров, формирующую линзу 3, отклоняющую систему 4, объект 5, детектор 6 вторичных электронов, усилитель 7, блок 8 выделения высокочастотной составляющей, блок 9 сравнения, задающий генератор 10, аналого-цифровой преобразователь 11, прогарммное устройство 12, блок 13, коммутации, цифро-аналоговые преобразователи 14, управляемые источники 15 питания юстирующих устройств, юстирующие электрониооптические устройства 16, блок 17 управления током формирующей линзы.

Устройство работает следующим образом.

Электронный- пучок, генерируемый электронной пушкой 1, фокусируется блоком 2 коиденсорных линз и формирующей линзой 3 и сканируется отклоняющей системой 4 по поверхности объекта 5. Поток вторичных электронов от объекта регистрируется детектором 6 и усиливается в усилителе 7. Сформированный таким образом видеосигнал попадает в блок 8 выделения высокочастотной составляющей видеосигнала. Далее выделенная составляющая поступает в блок 9 сравнения, где происходит сравнение частоты въщеленной составляющей с заданным уровнем, величина которого определяется параметрами сигнала, поступающего с задающего генератора 10, затем сигнал сравнения через аналого-цифровой преобразователь 11 поступает в программноеустройство 12, которое подает соответствующую команду на блок 13 коммутации, осуществляющий соответственно программе управление через 1шфро-аналоговые преобразователи 14 источниками 15 питания юстирующих устройст 16 и блоком 17 управления током формирующей линзы. Включаемые в заданной последовательности блоком 13 коммутации источники питания юстируюцщх устройств и блок управления током формирующей линзы осуществляют пошаговое изменение положения

Лучка.относительно оси ЭОС, а также пошаговую подфокусировку формирующей линзы. При этом обеспечивается следующая последовательность настройки ЭОС: фокусировка пучка - включение и юстировка первого элек-

троннооптического элемента ЭОС - подфокусировка пучка - включение к юстирювка второго элемента и т.д.

Таким образом, предложенное устройство позволяет автоматизировать и существенно

повысить точность настройки электронноошической системы микрозондовых приборов и повысить их разрешающую способность.

Фор м у ла изобретения

Устройство настройки электрониооптической системы микрозондовых приборов, содержащее схему фокусировки электронного пучка, включающую последовательно соейиненнь е блок выделения высокочастотной составляющей видеосигнала с детектора вторичных электронов, блок управления током формирующей линзы, функциональный преобразователь, и юстирующие электроннооптические устройства, подключенные к управляемым источникам питания и установленные соосно с элементами электрошюоптической системы, отличающееся тем, что с целью повышения разрешающей способиости микрозондовых приборов за счет обеспечения- минимального диаметра электронного пучка, функциональный преобразователь выполнеи в виде программного устройства, подключенного к выходу системы выделения высокочастотной составляющей

видеосигнала и соединенного с блоком коммутации, который соединен через цифро-аналоговые преобразователи с управляемыми источииками питания юстирующих устройств и блоком управления током формирующей линзы.

Источиики информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР N 368675, O кл. Н 01 J 29/40, 1972.

2.Патент ГДР № 114316, кл. Н 01 J 37/30, опублик. 1975 (прототип).