Состав для очистки поверхности поликристаллического корунда Советский патент 1992 года по МПК C11D1/83 C11D1/83 C11D1/72 C11D1/12 C11D3/04 

Изобретение относится к средствам для очистки поверхности поликристаллического корунда (поликор) и может быть использовано при производстве гибридных интегральных схем.

Технология очистки поликора по сравнению с технологией очистки ситалла, стек- ла и др. диэлектриков вызывает определенные трудности. Это обусловлено тем что высокоглиноземистый корундовый материал поликор по сравнению с вышеназванными диэлектриками имеет неровную пористую поверхность, прочно удерживающую различные загрязнения.

Известен состав для очистки поликоро- вых подложек, состоящий из поверхностно-1 активного вещества (ПАВ) Прогресс (смесь алкилсульфата натрия, сульфата натрия, изопропилового спирта и воды), изо- пропилового спирта и воды.

Недостатком известного состава является многостадийность и, следовательно, длительность процесса. Кроме того, он содержит экологически опасные вещества (изопропиловый спирт), в связи с чем повышаются требования к технике безопасности и усложняется утилизация отработанного раствора (перегонка или сжигание отработанных растворов).

Наиболее близким к предлагаемому является состав для очистки поликоровых подложек, содержащий, мас.%: Синтанол ДС-10 (ПАВ) -0,15; Натрий виннокислый - 0,3; кислота лимонная - 0 5: деионизован- ная вода - остальное.

Недостатком известного состава является образование дополнительных загрязнений при его употреблении. Так, наличие в составе Синтанола ДС-10 примесей в виде золы и соединений железа ведет к образо 1

ч

о ю

ванию водоиерастворимых окислов железа, которые прочно удерживаются в глубоких порах поверхности, и в результате к снижению качества очистки. Биологическая разла- гаемость также невысока (78±1 %).

Цель изобретения - повышение качества очистки и улучшение экологических показателей.

Поставленная цель достигается тем, что состав для очистки поверхности поликора, содержащий неионогенное поверхностно-активное вещество, добавки и воду в качестве неионогенного поверхностно-активного вещества содержит оксиэтилированный 10-12 моль окиси этилена нонилфенол, в качестве добавки состав содержит метасиликат натрия, триполифосфат натрия гидроксид аммония и дополнительно содержит алкилсульфонат натрия, при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Оксиэтилированный 10-12 - моль окиси этилена

нонилфенол0,12-0,15

Алкилсульфонэт натрия 0,12-0,15 Метасиликат натрия 0,30-0,45 Триполифосфат натрия 0.40-0,60 Гидроксид аммония 0,40-0,45 ВодаОстальное до 100

В качестве оксиэтилированного моно- алкилфенола состав содержит Неонол АФ- 9-10 или Неонол АФ 9-12.

Пример1.В дистиллированной воде готовят раствор смеси Неонола АФ-9-10, ал- килсульфоната натрия, метасиликата натрия, триполифосфата натрия, гидроокиси аммония с концентрациями (мас.%): 0,12; 0,12; 0,30; 0,40; 0,40 соответственно. Приготовленный раствор (объем 2 л) заливают в реакционную камеру установки ПВХОТС- 60-1 и нагревают до температуры 55°С. Ус- тановленные э кассету поликоровые подложки погружают в моющий раствор и отмывают в течение 12 мин с использованием вибрации. После обработки подложки промывают в токе дистиллированной воды в течение 1,5 мин, проверяют на качество очистки поверхности по методу разрыва водной пленки, сушат на центрифуге при скорости вращения ротора 3000 об/мин, и далее подложки поступают на вакуумное напыление, затем проводят проверку на качество сварки и адгезии напыленного контактного слоя к поликоровой подложке.

Показатели качества очистки пластин приведены в таблице.

Пример 2. В дистиллированной воде готовят раствор смеси Неонола АФ 9-10, алкилсульфоната натрия, метасиликата натрия, триполифосфата натрия, гидроокиси аммония с концентрациями (мас.%):0,13;

0,13; 0,37; 0,55: 0,42 соответственно. Приготовленный раствор (объем 2 л) заливают в реакционную камеру установки ПВХОТС- 60-1 и нагревают до температуры 58°С Установленные в кассету поликоровые подложки погружают в моющий раствор и отмывают в течение 10 мин с использованием вибрации, и далее проводят операции, аналогичные примеру 1.

0 Показатели качества очистки приведены в таблице.

Примерз. В дистиллированной воде готовят раствор смеси Неонола АФ 9-10, алкилсульфоната натрия, метасиликата на5 трия, триполифосфата натрия, гидроокиси аммония с концентрациями (мас.%): 0,15; 0,15; 0,45; 0,60; 0,45 соответственно. Приготовленный раствор (объем 2 л) заливают в реакционную камеру установки ПВХО-ГС0 60-1 и нагревают до температуры 60°С. Ус- тановленные в кассету поликоровые подложки погружают в моющий раствор и отмывают в течение 15 мин и далее проводят операции аналогично примеру 1.

5 Показатели качества очистки приведены в таблице.

Проведено еще три идентичных испытания, отличающиеся от предыдущих лишь тем, что вместо Неонола АФ 9-10 использо0 ван Неонол АФ 9-12 (см.таблицу, примеры 4-6).

Предлагаемый состав обеспечивает высокую эффективность процесса очистки и улучшает экологические показатели, Он

5 полностью снимает с поверхности полмкора органические, минеральные и механические загрязнения, не вносит дополнительных загрязнений. , Как видно из таблицы, состав обеспечи0 вает полную смачиваемость водой очищенных пластин и высокую адгезию нанесенных на них контактных слоев. Биологическая разлагаемость раствора составляет 90%.

5 Кроме того, состав характеризуется вы- сокой устойчивостью к гидролизу, что позво- ляет многократно (5 раз и более) использовать его м хранить продолжительное время. Выход годных подложек отмы0 тых в данном составе, составляет 100%, в известном составе - 80%.

Формула изобретения Состав для очистки поверхности поликристаллического корунда, содержащий не5 ионогенное поверхностно-активное вещество, воду и добавки,о тлтчающий- с я тем, что, С целью повышения качества очистки и улучшения экологических показателей, состав содержит в качестве неионо- генного поверхностно-активного вещества

оксиэтилированный 10-12 моль окиси этилена нонилфеиол; в качестве добавки состав содержит метасиликат натрия, триполифос- фат натрия, гидроксид аммоний и дополнительно содержит алкилсульфонат натрия при следующем соотношении компонентов, мас.%: Оксиэтилированный 10-12

моль окиси этилена

нонилфенол0,12-0,15;

Алкилсульфонат натрия0,12-0,15

Метасиликат натрия0,30-0,45

Триполифосфат натрия0,40-0,60

Гидроксид аммония0,40-0,45

Водадо 100.

Изобретение относится к средствам для очистки поверхности поликристаллического корунда Цель - повышение качества очист ки и улучшение экологических показателей. Для этого используют состав, содержащий, мас.% оксиэтилированный 10-12 молями окиси этилена нонилфенол 0,12-0,15; алкил- сульфонат 0,12-0,15; метасиликат натрия 0,30-0,45; триполифосфат натрия 0,40-0,60; гидроксид аммоний 0,40-0,45 и вода до 100. Применение этого состава обеспечивает полную смачиваемость водой очищенных пластин из поликора и высокую адгезию нанесенных на них контактных слоев. Выход годных подложек, отмытых в данном составе, составляет 100% в сравнении с 80% при использовании известного состава, Биораз- лагаемость состава составляет 90% 1 табл. Is

Примечание Величина адгезии считается нормальной, если усилие отрыва перемычек не менее 2.5 гс.