Установка для мойки и сушки изделий Советский патент 1992 года по МПК B08B3/02 

Изобретение касается очистки поверхности плоских изделий и может быть использовано при производстве изделий электронной техники, в частности при отмывке и сушке полупроводниковых пластин.

Известна установка для отмывки и сушки пластин, содержащая ванну с крышкой, на которой укреплен распылитель (форсунка), который в процессе работы установки находится в центре центрифуги (кассето- держателя) 1. Кроме того, по периферии кассетодержателя также установлены форсунки для подачи жидкости и осушающего агента. Пластины ё кассетодержателе установлены горизонтально, поток жидкости направлен вдоль плоскости пластины и омывает ее с двух противоположных сторон.

Недостатком известного устройства является низкое качество отмывки и сушки изделий ввиду того, что затруднена промывка периферийных участков (углов).

Из известных наиболее близкой по технической сущности и достигаемому результату является установка для мойки и сушки изделий, содержащая рабочую камеру обработки с крышкой, внутри которой размещены сопла (распылительные насадки) для распыления жидкости (могут быть размещены в центре ванны или на крышке), сопла (коллектор) для подачи осушающего агента (азота), кассетодержатели, жестко закрепленные в обечайке под углом к горизонтальной плоскости, размещенной в центре ванны и привод вращения обечайки. Держатель выполнен в виде ковша, одна из сторон которого (меньшая, противоположная ручке) закреплена с возможностью перемещения по горизонтали (в днище ковша) для обеспечения возможности обработки различных типоразмеров пластин 2.

Загрузка изделий в камеру обработку осуществляют вручную. При известной форме кассетодержателя практически невозможно реализовать автоматическую перегрузку кассет с изделиями, что ограничивает эксплуатационные возможности устройства, не позволяет широко применять его в гибком автоматизированной производстве,

Целью изобретения является устранение указанного недостатка, а именно повышение удобства эксплуатации.

СП

С

а

СА О СЛ СП

Цель изобретения - повышение удобства эксплуатации.

На фиг. 1 схематично представлена установка для мойки и сушки; на фиг, 2 - вид по стрелке А на фиг.1; на фиг, 3 - то же, в момент перегрузки.

Установка для мойки и сушки изделий содержит рабочую камеру 1 с крышкой 2. на которой размещены форсунки 3, соединенные магистралями 4,5 подачи моющей жид- кости и сушильного агента соответственно, кассетодержатели 6,7, закрепленные в обечайке 8 под углом к оси камеры 1 (к горизонтальной плоскости), привод вращения обечайки 8 в виде ременной передачи 9, соединенной с электроприводом 10, В дне камеры 1 предусмотрен отвод 11 отработанной жидкости. На обечайке 8 имеются ограничители 12 хода кассетодержателей 6,7 при сушке. В дне камеры 1 под каждым кассетодержателем 6,7 установлены толкатели 18, соединенные с механизмом вертикального перемещения 19 и обеспечивающие возможность перевода кассетодержателей в горизонтальное поло- жение. В обечайке 8 имеются дополнитель- ные форсунки 20 для промывки кассетодержателей 6,7. Кассетодержатели 6,7 установлены на горизонтальных осях 13 и опорных втулках 14,15. которые закрепле-

ны в кронштейнах 16,17. Оси 13 смещены от центра тяжести кассетодержателей и обеспечивают исходное положение их под углом 30...40 к горизонтальной плоскости.

Таким образом, за счет обеспечения изменения положения изделий в одном объеме из наклонного (под углом к горизонтали) при мойке в положение, параллельное горизонтальной плоскости при сушке, стало воз- можным повышение удобства эксплуатации.

Формула изобретения Установка для мойки и сушки изделий, содержащее рабочую камеру с крышкой, размещенные в ней сопла, связанные с магистралями подачи моющей жидкости и сушильного агента, кассетодержатели, закрепленные в обечайке под углом к горизонтальной плоскости, и привод вращения обечайки, отличающаяся тем, что, с целью повышения удобства эксплуатации, кассетодержатели в обечайке установлены свобод но посредством осей, смещенных относительно центров тяжести кассетодержателей, а камера снабжена приводными толкателями, смонтированными в дне ванны с возможностью периодического взаимодействия с соответствующими кассетодержателями для поворота последних относительно осей.

Использование: для промывки при производстве изделий электронной техники. Сущность изобретения: установка содержит камеру с обечайкой, внутри которой размещены кассетодержатели. Установка снабжена опорными втулками с горизонтальными осями, толкателями, соединенными с приводом вертикального перемещения.Кассетодержатели установлены на осях с возможностью перемещения по дуге. 3 ил.

№-

п п

МЈМ

Физ.1

81

Ji

91

vens

S90C9a

81

SI .Я

X

Ґ

18

Физ.З