Парогазовая смесь для получения диэлектрических оксидохромовых покрытий черного цвета Советский патент 1992 года по МПК C23C16/40 

температуры электросопротивление резко понижается.

Цель изобретения - повышение электросопротивления пленок и напряжения пробоя, а также термостойкости в интерва- ле температур минус 60 плюс 200°С.

Поставленная цель достигается тем, что парогазовая смесь дополнительно содержит борную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Хромоорганическая

жидкость Бархос 30-50

Многоатомный спирт 48-60

Борная кислота2-10

При этом соблюдают следующую после- довательность - сначала борную кислоту смешивают в многоатомном спирте, затем последнее смешивают с хромоорганической жидкостью Бархос.

Сопоставительный анализ с прототи- пом позволяет сделать вывод, что заявляемый состав парогазовой смеси отличается от известного введением нового компонента - борной кислоты.

Для экспериментальной проверки заяв- ляемой парогазовой смеси были подготовлены семь смесей при различном соотношении компонентов, три из которых показали оптимальные результаты.

1,На вращающийся столик рабочей ка- меры устанавливают изделие - алюминиевый цилиндр. Из камеры с помощью вакуумнасоса откачивают воздух, термоста- тируют, нагревая изделие до 400°С, затем

на внутреннюю поверхность изделия под- ают со скоростью 2-3 мл/мин парогазовую смесь, состоящую из следующих компонентов, мас.%:

Хромоорганическая

жидкость Бархос 44

Этиленгликоль50

Борная кислота6

После тридцатиминутной подачи парогазовой смеси на внутренней поверхности изделия нанесено оксикарбидо-хромовое покрытие толщиной 15 мкм с 97-98% коэффициентом диффузного светопоглощения, микротвердостью до 1700 кГ/мм электросопротивлением до Ы09 Ом/см, выдерживающим напряжение 300 В и не отслаивающееся при температуре от минус 60 до плюс200°С.

2.На изделие, помещенное в рабочей камере, подают парогазовую смесь, состоящую из следующих компонентов, мас.%:

Хромоорганическая жидкость Бархос 30

Глицерин60

Борная кислота10

Полученное покрытие толщиной 16 мкм было с коэффициентом диффузного светопоглощения 87-98%, микротвердостью 1600 кГ/мм2, удельным электросопротивлением Ом/см, выдерживающим на пробой напряжение 300 Вине отслаивающееся при резкой смене температуры от минус 60 до плюс 200°С

3. При идентичных условиях в рабочей камере (400°С, давление мм рт.ст.) на изделие подают парогазовую смесь, состоящую из следующих компонентов, мас.%:

Хромоорганическая

жидкость Бархос 50

Диэтилен гликоль48

Борная кислота2

На внутренней поверхности изделия образовано черное оксикарбидо-хромовое покрытие с коэффициентом диффузного светопоглощения 97%, удельным электросопротивлением 1 10 Ом/см, выдерживающим на пробой напряжение 300 В, не отскакивающим от основы при резкой смене температуры от минус 60 до плюс 200°С.

Если борной кислоты будет больше 10 мас.%, а многоатомного спирта больше 60 мас.%, то образуется покрытие с коэффициентом диффузного светопоглощения 92- 93%, что не желательно, да и покрытие получается шероховатым, осыпающимся.

Если борной кислоты в парогазовой смеси меньше 2 мас.% и многоатомного спирта меньше 48 мае. %, образуется не черное, а матовое покрытие с удельным электросопротивлением меньше 1-Ю7 Ом/см.

Если борной кислоты будет больше 10 мас.%, то образуется матовое покрытие с низким коэффициентом диффузного светопоглощения.

Если борной кислоты будет меньше 2 мас.%, а многоатомного спирта больше 60 мас.%, то образуется порошкообразный осадок с плохой адгезией.

Из этого следует, что парогазовая смесь предлагаемого состава для получения диэлектрических оксикарбидохромовых покрытий обеспечивает получение при коэффициенте диффузного светопоглощения 97-98% покрытия с высоким стабильным электросопротивлением Ом/см, выдерживающим на пробой напряжение 300 В и тоже обладающее микротвердостью 1600 кГ/мм2 и не отслаивающееся при резкой смене температуры от минус 60 до плюс 200°С.

Получаемые покрытия анализировали методом порошков в камере Дебал-Шер- рера. Установлено, что они состоят из окиси хрома Сг20з, карбида хрома и н еиндифицированной фазы - вероятно

517652546

представляющую собой растворы окиси спирт, отл ича ю щаяся тем,что,с целью хрома в окиси бора. Коэффициент свето- повышения электросопротивления пленок и поглощения измеряли на приборе ФМ-59, напряжения пробоя, а также термостойко- электросопротивление - мостом электро- сти в интервале температур 60-200°С, она сопротивления.5 дополнительно содержит борную кислоту

при следующем соотношении компонентов, Формула изобретениямае.%:

Парогазовая смесь для получения диэ-Хромоорганическая

лектрических оксидохромовых покрытийжидкость Бархос 30-50

черного цвета, содержащая хромоограниче- Ю Многоатомный спирт 48-60 скую жидкость Бархос и многоатомныйБорная кислота2-10