Способ получения электрофотографического материала Советский патент 1992 года по МПК G03G5/08 G03G5/06 G03G5/22 

Изобретение относится к электрофотографии, в частности к технологии получения электрофотографических материалов.

Известны способы получения электрофотографических материалов путем последовательного нанесения в вакууме металлических и полупроводниковых слоев и затем на воздухе - полимерных слоев.

Известен также способ повышения качества материала за счет повышения вакуума в процессе напыления селенового слоя путем использования криогенных ловушек для остаточных газов в вакуумной камере.

С целью повышения глубины вакуума в вакуумной технике широко применяются в качестве откачных средств серийные титановые сорбционные насосы,- в которых повышение вакуума в откачиваемой системе достигается за счет связывания остаточных газов распыляемыми атомами титана. При этом распыляемый титан осаждается на стенках вакуумной системы, загрязняя ее и не используясь непосредственно в технологическом процессе.

Наиболее близким к предлагаемому является способ получения многослойных электрофотографических материалов на гибкой полимерной основе путем последовательного напыления в вакууме сначала электропроводящего слоя, а затем Јоточув- ствительного генерирующего слоя селена с добавлением теллура и далее уже на воздухе полив из раствора транспортного слоя, содержащего органический полупроводник.

По известному способу электропроводящий слой никеля и генерирующий слой наносят последовательно, подвергая материал между этими операциями воздействию атмосферы. Это ведет к окислению металлического слоя за счет адсорбции компонентов атмосферы, ухудшению адгезии слоев и снижению фоточувствительности.

Целью предлагаемого изобретена °в- ляется улучшение качества материала за счет повышения его фоточувствительности и адгезии напыленных слоев.

Эта цель достигается тем, с помощью вакуумной камеры последовательно

XI

х 0 О

fc

напыляют на движущуюся полимерную основу электропроводящий слой и полупроводниковый генерирующий слой из селена и теллура с последующим нанесением на полупроводниковый генерирующий слой транспортного слоя путем полива органического раствора, причем напыление полупро- водникового генерирующего слоя осуществляют непосредственно после напыления электропроводящего слоя из тита- на на движущуюся гибкую полимерную основу в одной вакуумной камере.

Испаритель титана выполняет при этом две функции: играет роль сорбционного насоса и источника вещества напыляемого функционального (электропроводящего) слоя. Важной особенностью является то, что распыляемые атомы и ионы титана поглощают остаточные и выделяющиеся из подложки и элементов конструкции газы не- посредственно в зоне нанесения полупроводникового слоя, обеспечивая его чистоту и тем самым повышая качество слоя.

Существенным отличительным признаком предлагаемого технического решения, обеспечивающим достижение положительного эффекта, является одновременное осаждение в вакууме на движущуюся подложку слоя металлического титана и поверх него слоя полупроводника.

Пример1.В вакуумной камере размещают устройство для перемотки полиэти- лентерефталатной ленты (основы), электродуговой испаритель титана, испаритель селена и испаритель теллура, таким образом, в процессе перемотки основы она проходит сначала мимо испарителя титана, а затем - селена и теллура.

Откачивают вакуумную камеру до предельного давления (0,8-1) х 10 мм рт.ст. Включают испарители селена и теллура. При этом за счет разогрева элементов конструкции испарителей давление в камере увеличивается до 1-2-10 мм рт.ст, Включают электродуговой испаритель титана. При этом давление в камере уменьшается до 1-2 хЮ мм рт.ст.

Включают устройство перемотки основы и наносят на нее слой титана и поверх него слой селена с нарастающей от 0 до 20% концентрацией теллура толщиной 0,2 мкм.

Выключают все испарители, вынимают ленту с напыленными слоями из камеры. Поверх селенового слоя наносят из раствора транспортный слой, содержащий 60 мас.% поликарбоната. Высушивают слой на воздухе при температуре 50-70°С.

П р и м е р 2. Изготавливают образец материала по примеру 1, но сначала наносят только слой титана, затем образец вынимают на воздух и помещают в другую установку и отдельно наносят слой селена с теллуром. Поверх последнего наносят транспортный слой.

ПримерЗ. Изготавливают образец материала по примеру 2, но вместо титана используют никель.

Светочувствительность по примерам 1- 3 оценивают по критерию полуспада отрицательного поверхностного потенциала при экспонировании монохроматическим светом. Результаты испытаний приведены в таблице.

Как видно из таблицы, материал по примеру 1, изготовленный в соответствии с предлагаемым техническим решением, обладает более высокой светочувствительностью, т.е. положительный эффект достигается.

Адгезию генерирующего слоя на поверхности металлического оценивают путем от- рыва липкой ленты, приклеенной к поверхности слоя.

Результаты показывают, что у образцов по примерам 2 и 3 при отрыве липкой ленты генерирующий слой отрывается вместе с липкой лентой, отделяясь от металла.

У образца по примеру 1 генерирующий слой от металлического отделить не удается. При увеличении прочности клеевого соединения возможно только частичное отделение двух слоев одновременно (генерирующего и металлического от полимерной подложки).

Таким образом, достигается положительный эффект увеличения адгезионной прочности генерирующего слоя на поверхности металлического,

Формула изобретений Способ получения электрофотогоафиче- ского материала включающий последовательное напыление с помощью вакуумной камеры на гибкую полимерную основу электропроводящего слоя и полупроводникового генерирующего слоя из селена и теллура с последующим нанесением на полупроводниковый генерирующий слой транспортного слоя путем полива органического раствора, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества материала за счет повышения его фоточувствительности и адгезии напыленных слоев, напыление полупроводникового генерирующего споя осу- ществляют непосредственно после напыления электропроводящего слоя из титана на движущуюся гибкую полимерную основу в одной вакуумной камере.

Использование: в области электрофотографии. Сущность изобретения: в вакуумной камере на движущуюся гибкую полимерную основу осуществляют напыление электропроводящего слоя из титана. -Сразу же после этого на слой титана в этой же камере напыляют полупроводниковый генерирующий слой из селена и теллура. На генерирующий слой наносят органический транспортный слой путем полива. I табл