Способ электрохимической обработки Советский патент 1992 года по МПК B23H3/04 B23H9/06 

Изобретение относится к способам размерной электрохимической обработки и может быть использовано в области технологии машиностроения,

Известен непрофилированный катод- инсгрумент (КИ) (см. авт. св. № 342943 от 22.06.1972. Б. 1972. Б, № 20), предназначенный для одновременной неравномерной обработки поверхности заготовки за счет того, что на основе располагаются участки, состоящие из одного или нескольких материалов с заданными удельными сопротивлениями и контурами, повторяющими контуры участков заданного изображения. Однако при этом для получения каждого заданного изображения необходимо использование специального КИ, технологическая сложность изготовления которого обусловливает большие затраты времени и средств.

Известны также устройства для электрохимического маркирования (см. авт.св. № 1315182-от 07.06.87 и авт.св. № 1454594 от 30.01.89)8 которых для коммутации технологического тока, протекающего по отдельным секциям многосекционного КИ, используется световой поток (СП). СП воздействует на фотопроводящие элементы, включенные последовательно с проводниками каждой из секций КИ так, что протекание технологического тока по данной секции определяется наличием или отсутствием засветки соответствующего фотопроводящего элемента. Указанные конструкции обеспечивают формирование на обрабатываемой поверхности изображения, состоящего из дискретных участков обработанной и необработанной поверхности. Вследствие этого они непригодны для формирования изображений сложной конфигурации и не предполагают получения рельефного изображения, т. е. различной глубины обработки его отдельных участков.

Целью настоящего изобретения является расширение технологических возможностей за счет получения рельефного профиля.

Эта цель достигается путем использования КИ, выполненного из фотопроводящего материала, токоподвод к нерабочей поверхС/)

С

х|

VI

00

Ю

VI

ности которого осуществляется посредством слоя светотокопроводящего материала.

При этом необходимое распределение плотности технологического тока по поверхности обрабатываемой детали обеспечивается неравномерной освещенностью нерабочей поверхности катода.

Получение заданного рельефа на обрабатываемой детали обеспечивается пропорциональностью плотности фототока jc} в данной точке поверхности катода освещенности Е, причем эта зависимость сохраняется в очень широких пределах изменения освещенности. Фиг. иллюстрирует возможность получения рельефно обработанной поверхности: 1 т фотопроводящий катод со светотокопроводящим покрытием, 2 - диэлектрические прокладки, обеспечивающие зазор для протекания электролита, 3 - обрабатываемая деталь. Над поверхностью катода показан график зависимости освещенности Е и плотности фототока от координаты X в данном сечении катода. Пунктиром на обрабатываемой детали показан получаемый в результате обработки рельеф, а в нижней части фиг. - зависимость от координаты глубины обработки Aha рассматриваемом сечении.

Пример конкретного выполнения. Для изготовления фотопроводящего катода со светотокопроводящим покрытием испольЈ «/V

зуют кремниевую пластину (р-типа, р 0,8

Ом « м) диаметром 70 мм и толщиной 3,8

м, на которую термическим вакуумным

напылением наносят слой меди (толщина

покрытия 1,). В качестве электролита используют 5%-ный раствор NaCI.

Для получения заданного рельефа обработанной поверхности в процессе обработки нерабочую повеохность КИ освещают

соответствующим образом распределенным световым потоком (учитывая, что глубина обработки пропорциональна освещенности).

15

Формула изобретения

Способ электрохимической обработки, при котором на нерабочую поверхность катода, выполненного из фотопроводящего

полупроводникового материала с токопод- водом на его нерабочей поверхности, воздействуют световым потоком, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей за счет получения рельефного профиля, обработку осуществляют катодом, токолодвод которого выполнен в виде светотокопроводящего слоя, а распределение плотности тока по рабочей поверхности катода обеспечивают

неравномерной освещенностью нерабочей поверхности катода.

Использование: электрохимическая обработка рельефного профиля. Сущность изобретения: обеспечивают распределение плотности тока по рабочей поверхности катода неравномерной освещенностью нерабочей поверхности катода. Катод выполнен из фотопроводящего полупроводникового материала. Токоподвод на нерабочей стороне катода выполнен в виде светотокопрово- дящего слоя. 1 ил.