СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАТУШЕК ИНДУКТИВНОСТИ Советский патент 1966 года по МПК H01F41/18 

При применении извеетных способов изготовления катушек индуктивности, основанных на вакуумном напылении через маску токопроводящих, ферромагнитных и изоляционных материалов на изоляционную подложку, не удается получить тороидальных катушек, обладающих малыми потерями.

Описываемый способ изготовлеиня катушек индуктивности дает возможность существенно повысить качество тороидальных катушек, что достигнуто использованием масок с радиальными прорезями для наныления витков катушки и напылением магиитопровода катушки в магнитном поле, создаваемом током, проходящим через электрод, расположенный перпендикулярно плоскости подложки.

На чертеже изображены подложка п используемые при напылении маски.

Вначале на подложку / через маску 2, снабженную радиальными прорезями 3, напыляют полоски токопроводящего материала. Затем через маску 4 с кольцевым отверстием 5, ширина которого меньше длины прорезей 3, напыляют изоляционную плеику в форме кольца. После нанесения пленки в отверстие 6 подложки / вводят стержневой электрод 7, который устанавливают перпендикулярно плоскостн подложки 1, и накладывают маску 8 с кольцевым отверстием 9. Пропуская через электрод 7 постоянный ток, на поверхность

изоляционной пленки напыляют слой ферромагннтного материала. Полученный кольцевой магнитопровод с KpyroBoii анизотропией покрывают изоляционной пленкой, паноспмой напылением изоляционного материала через маску 10 с кольцевой щелью //. Па новерхность изоляционной плепки через маску 12 с радиальными прорезями 13 напыляют полоски токопроводящего материала, которые являются второй половиной обмотки катушки. Концы этой ПОЛОВ1П1Ы обмотки, контактируя с аналогичными полоскам, получе ными при напылении токопроьодящего материала, через маску 2 образуют полную обмотку плоской тороидальной катушки.

Предмет зобретения

Способ ИЗГОТОВЛе П Я 1Ду Т ВНОсти, основанный ja вакуум юм напыле И через маску токопроподя цих, феррол аг П тных

ц ЗОЛЯЦ ОННЫХ МаТер 1аЛОВ на ИЗОЛЯЦ ОННу О

подложку, отличающийся, тем, что, с целью повын енпя качества катушек, изготовляемых 1:апылеп ем, после ia подложку токопроводяидего матер ала через маску с

радиальным ПрОреЗЯМ и ИЗОЛЯтрод, устанавлнвают его перпендикулярно плоскости подложки и, пропуская через эле трод постоянный ток, }1аиыляют ферромагнитный материал на поверхностг нзоляцнонной нленки, после чего покрывают нолучеииый

кольцевой л1аг1Н1топрО1юд с круговой ainiaoтропней пзоляционной пленкой и через маску с раднальнымн прорезямн напыляют токопроводящий материал, формируя вторую половину обмотки тороидальной катунжи.

WZ

6 1

1 I

ттш

3 2