ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ ВОЗДУХА ИЛИ ГАЗА Советский патент 1966 года по МПК G01W1/11 

Известны датчики влажности воздуха или газа, содержаи.1,ие непроводящую подложку с нанесенными на ней гребенкообразными металлическими электродами и влагочувствительным покрытием.

В описываемом датчике для повышения стабильности и чувствительности датчика влагочувствительиое покрытие выполиеио из термически обработанного органического полупроводника, например полиакрилонитрила.

На чертеже изображен иредлагаемый датчик, об|ций вид.

На стеклянную подложку нанесена тонкая проводящая нленка металла 1, не образую1цая гигроскопических окислов, наиример серебро. Пленка наносится любым из известиы.к способов (химическим, иапылением в вакууме, вжиганием и др.). На поверхности металлической пленки процарапана тонкими линиями гребеикообразиая кривая 2, разделяющая металл на два электрода. На обработанную таким образом иодложку нанесено влагочувствительное покрытие 3, состоящее из органического полупроводника, например полиакрилоиитрила. После этого заготовка нодвергается термообработке. Контакты и выводы 4 нанесены путем прокаливания, вжигания, приклеивания или механически.

Предмет изобретения

Датчик влажности воздуха или газа, содержащий непроводящую подложку с нанесенными на ней гребенкообразиыми металлическими электродами и влагочувс.твительным покрытием, отличающийся тем, что, с целью иовышения стабильности и чувствительности датчика, влагочувствительное покрытие выполнено из термически обработаииого органического полупроводиика, например полиакрилонитрила.