Вакуумный затвор Советский патент 1993 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании.

Цель изобретения - упрощение конструкции затвора при повышении надежности его работы.

На фиг. 1 показан продольный разрез вакуумного затвора: на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.

Вакуумный затвор (фиг.1) содержит корпус 1 с отверстием 2, фланец 3 с уплотнением 4, соединенный с приводом 5 возвратно-поступательного перемещения. На сопрягаемых поверхностях корпуса 1 и фланца 3 выполнены соответственно углубление 6 и выступ 7. Углубление 6 и выступ 7 выполнены цилиндрической формы, причем выступ 7- из эластичного материала, например резины, на котором в верхней части

закреплен цилиндрический диск 8, равный диаметру выступа 7. На выступе 7 и диске 8 выполнены продольные сквозные отверстия 9, оси которых параллельны оси выступа, а центры отверстий расположены на одной окружности (фиг.2). Выступ 7 и диск 8 жестко закреплены на валу 10 привода 5.

Вакуумный затвор работает следующим образом.

Под действием привода 5 выступ 7 начинает перемещаться и входит в углубление 6. Затем происходит осевое сжатие выступа 7, при этом увеличивается радиальный габарит выступа. В результате возникает надежная герметизация. Усилие герметизации регулируется усилием самого привода 5 и диаметром сквозных отверстий 9. Чем бопь- ше их диаметр, тем меньше усилие герметизации и наоборот. К тому же через эти

00

ю ю

fc

отверстия выходит воздух, находящийся в углублении б, тем самым в затворе не возникают, воздушные пробки.

Применение предлагаемого вакуумного затвора позволяет упростить конструкцию и повысить надежность его работы.

Устройство целесообразно использовать в экологически чистом технологическом оборудовании.

Формул а изо бретени я

Вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступатель

5

ного перемещения, на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубление и выступ, отличаю - щ и и с я тем, что, с целью упрощения конструкции затвора, повышения надежности в работе, углубление и выступ имеют цилиндрическую форму, выступ выполнен из эластичного материала, на верхней части выступа установлен цилиндрический диск, диаметр которого равен диаметру выступа, в диске и выступе выполнены сквозные отверстия, оси которых параллельны оси выступа, а центры отверстий расположены на одной окружности.

Фиг.I

Область использования: относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании. Цель изобретения: упрощение конструкции вакуумного затвора, повышение надежности его работы. Сущность изобретения: вакуумный затвор состоит из корпуса с отверстием, фланца с уплотнением, соединенного с приводом возвратно-по- ступательного перемещения, на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубление и выступ цилиндрической формы, выступ выполнен из эластичного материала, на котором в верхней части закреплен цилиндрический диск, диаметр которого равен диаметру выступа, на выступе и диске выполнены продольные сквозные отверстия, оси которых параллельны оси выступа, а центры отверстий расположены на одной окружности. 2 ил. СО С