Вакуумный затвор Советский патент 1981 года по МПК C23C13/08 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом обору довании. Известен вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения f 1 Однако этот вакуумный затвор имеет недостаточно высокую надежность уплотнения, обусловленную тем, что отверстие в корпусе уплотняется толь ко в одном месте. Поэтому при наруше нии уплотнения в этом месте происходит разгерметизация вакуумной системы. Кроме того, необходимость слож ной конструкции привода, вызванная взаимным расположением отверстия и фланца с уплотнением, также снижает надежность уплотнения. Наиболее близким по технической сущности является вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, причем на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубления и выступ. Этот затвор имеет более простую конструкцию . Недостаток данного затвора заключается в том, что при вьтолнении фланца с уплотнением цилиндрической формы надежность герметизации является недостаточно высокой, так как в этом случае имеет место неравномерное распределение усилий по криволинейной поверхности углубления в корпусе в месте уплотнения. Цель изобретения - повьшение надежности герметизации. Указанная цель достигается тем, что в вакуумном затворе, содержащем корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, причем на сопрягаемых поверхностях