Зондовое устройство Советский патент 1993 года по МПК H01L21/66 

Изобретение относится к эл &ктроизмё- рительной технике и может быть использовано для измерения электрических периметров полупроводникоеых материа- ;V лов,; . :.:/; .-. ;. --:- :: //.:/- :;. ч-.

Цель изобретения - повышение йзносо- : стойкости при снижении переходного сопротивления..; , ;; v.;;:- ;-;..::--Л :.:,::

На чертеже схематично изображена конструкция зондового устройства. . ;:

Зондовое устройство содержит диэлек-; трический корпус:1, Электропроводящий зонд 2. их может быть два и более, с рабочей заостренной контактирующей зоной острия 3. Основной металл зонда 2 - сталь, которая ., диффузионно переходит е твердый сплав 4,; а затем твердый сплав 4 диффузионно пере- ходит в благородный металл 5., :.

Зондовое устройство работает следующим образом. При измерениях зондовое устройство с несколькими зондами опускают на контактную площадку полупроводникового материала, осуществляют равномерное прижатие и надежный; электрический контакт. При этом преимуществом заявленного технического решения является то, что твёрдый сплав обеспечивает износостойкость, Долговечность зонда, а благородный металл обеспечивает снижение переходного сопротивления. При необходимости величина твердого сплава, например ВК-6, и величина слоя благородного металла, например серебра, могут быть изменены в зависимости от функциональных требований измеряемых параметров полупроводников. Предлагаемое зондовое устройство может быть использовано не только для измерения электрических параметров полупроводниковых материалов, но и для определения параметров интегральных схем микрообъектов, поскольку благородный металл 5 обеспечивает мягкость электропроводящего зонда и стойкость к коррозионным изменениям.

ел

С

00

to

СП XI О

Формулам зо б ре те ни я

Зондовоё ybfpo bfво Для изме рёнйя электрических параметров полупроводниковых материалов, содержащее диэлектрический корпус, электропроводящие зонды с рабочей заостренной контактирующей зоной, о т л м ч а ю щ ё е с я тем, что, с целью повышения износостойкости при снижении

переходного сопротивления,рабочая заостренная контактирующая зона выполнена по контуру поверхности зондаГ из компози тов основного металла зонда, состоящего из стали с диффузионным переходом стали в слои твердого сплава, а затем от твердого сплава к слою благородного металла, выходящему на внешнюю поверхность зондово- го контакта.- --..-/:. - : .: . : - . :.- : V

Сущность изобретения: зондовое уст- ройство для измерения электрическихттраК метров полупроводниковых материалов. ;содержащее диэлектрический корпус, элек- трОпровЬдяЩйе зонДй с рабочей заостренной контактирующей зоной. Цель изобретёйия - повышение износостойкости при снижении переходного сопротивления. Рабочая и заострен на я конта ктйру кэщая зб; Ни зондбёйгоУстройства выполнена по контуру поверхности зонда из композитов осноемого йеталйа Йбнда, состоящего из стали 0 дйффузйонньгм переходом стали в ;слои твердого сплавау а затем, от твердого сплава к слою бл а рродйргр мётгалла, выхо: дящему на внешйюю поверхность зондовО го контакта. 1 ил.г