Зондовое устройство Советский патент 1980 года по МПК H01L21/66 

Изобретение относится к области электроизмерительной техники и может быть использовано для измерения элек трических параметров интегральных схем. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является зон довое устройство, содержащее диэлектрический корпус с электропроводящим зондом, причем электропроводящий зон выполнен из жесткого материала l . Недостатком этого зондового устройства являются низкие производительность и точность измерений. Цель изобретения заключается в по вьпиении производительности и точ:ности измерений. Эта цель достигается тем, что в зондовом устройстве, содержащем диэлектрический корпус с электропроводящим зондом, электропроводящий зонд выполнен из материала, обладающего термоупругим фазовым превращением, например из сплава на основе меди:, Сц.-А1-Л 5е- М. На чертеже изображена конструкция зондового устройства. Фондовое устройство содержит держатель 1, диэлектрический, корпус 2, Пружину 3, регулятор прижима 4,. зондодержатель 5 и электропроводящий зонд 6. Зондовое устройство работает следующим образом. При измерениях зондовое устройство опускают на контактную площадку исследуемой интегральной схемы, осуществляя при этом электрический контакт электропроводящего зонда 6 с контактной площадкой. Индивидуальное нажа-. тие электропроводящего зонда 6 регулируется с помощью регулятора прижима 4. Электропроводящий зонд 6 выполнен из сплава на основе меди, например. См-A8-Ni-Pe-Mn. Модуль упругости монокристаллов этого сплава на порядок и более меньше такового для электропроводящих зондов, выполненных из жестких материалов. Кроме того, монокристаллы этого сплава обладают аномально высокой упругой деформацией до 10-15%. Низкий модуль упругости и высокая упругая деформация монокристаллов сплава CM-AC-tii-e-Mh гарантируют полную неповреждаемость контактных площадок исследуемой интегральной схемы при зондировании, причем лри многократном использовании, электропроводящего зонда,6 получается достоверная информация об измеряемых, параметрах, так как материал эЛектропроводйщего зонда б не проявляет оста точной деформации при измерениях. Сплав CM-Ae-Ni-ffe-Mn обёспе йвает долговечность изготовленного из него электропроводящего зонда 6 без повторной заточки, что повышает производительность БОНДОВОГО устройства при измерениях. Вследствие йвоих осо бых упругих свойств электропроводя,щий -зонд 6 обеспечивает постоянство контактных площадок исследуемой интегральной схемы, что позволяет повысить точность измерений. Использование мягкого электропроводящего зонда в зондирующем устройстве позволяет проводить электрические измерения параметров различного рода микрообъектов, в том числе и интегральных схем, без их повреждения. Формула изобретения Зондовое устройство, преимущественно для измерения электрических параметров интегральных схем, содержащее диэлектрический корпус с электропроводящим зондом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и.точности измерений, электропроводящий зонд выполнен из материала, обладающего термоупругим фазовым превращением, например из сплава на основе меди: Си-ле-Ре- Ni-Mn. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США № 3611128, кл. 324-72,5,1971 (прототип).