Способ получения изображения микросхемы методом трафаретной печати Советский патент 1993 года по МПК B41M1/12 

Изобретение относится к технике, в которой возможно применение трафаретной печати, в частности в производстве газоразрядных приборов (ГРП).

Целью настоящего изобретения является повышение качества отпечатков.

На чертеже показана схема предлагаемого способа получения изображения.

Способ заключается в прижатии к подложке 1 трафарета 2, заполнение с помощью контрракеля 3 отверстий в трафарете 2 пастой 4 и последующим выравниванием ее в отверстиях трафарета с одновременным лродзвли- ванием пасты на подложку ракелем 5, расположенным под углом 100-160° к поверхности трафарета.

Если в процессе печати угол наклона ракеля будет менее 100°; то лезвие рэкеля оказывает сильное давление на пасту и она может затекать под трафарет. В результате этого происходит раздавливание отпечатка на подложке и как следствие резко возрастает разброс геометрических размеров отпечатка.

При угле наклона ракеля более 160° давление на пасту, вызванное движением

ракеля, недостаточно и не обеспечивает тюлное выдавливание пасты из отверстий в трафарете на подложку. Следствием этого является большой разброс толщины отпечатка на подложке.

Для достижения требуемой точности при формировании отпечатков по предлагаемому техническому решению необходимо использовать пасты с вязкостью от 2000 до 10000 Пэ. При использовании паст с вязкостью менее 2000 Пэ отпечаток имеет увели- ченные геометрические размеры из-за растекания ее после отрыва трафарета.

Использование паст с вязкостью более 10000 Пэ не позволяет полностью заполнить все отверстия в трафарете. И при движении ракеля она очищается, не продавливаясь на подложку.

Изобретение иллюстрируется примером.

Для формирования отпечатков в виде полос использовали трафарет, изготовленный из металлической ленты толщиной 0,2 мм. Отпечаток формировался на стеклянной подложке с элементами в виде барьеров выел

С

оо

СЛ Ю iCO

Ч

сотой 0.15 мм, в направлении,перпендикулярном расположению барьеров. Режим печати: скорость перемещения ракеля 52 мм/сек, пневматическое давление на ракель - 9,81 104 н/м2. Формирование элементов проводилось согласно способу при углах наклона ракеля 95°, 100°, 110°, 160°, 165°, а контрракеля - 60°. Вязкость пасты 8400 Пз. Рисунок на трафарете выполнен в виде сквозных продольных полос шириной 0,47 мм и длиной 190 мм. Расположение полос параллельно ходу ракеля. Параметры отпечатков приведены в таблице.

Таким образом, предлагаемый способ получения изображения позволяет повыи

сить точность отпечатков и дает возможность формировать разделительные элементы на рельефной поверхности.

Формула изобретения Способ получения изображения микросхемы методом трафаретной печати, заключающийся в выравнивании пасты на трафарете с помощью контрракеля и про- давливании ее через трафарет посредством ракеля, отличающийся тем, что. с целью повышения качества отпечатков при продавливании пасты через трафарет, ракель располагают под углом 100-160° к по- 15 верхности трафарета.

Ю

Использование: в трафаретной печати. Сущность изобретения: в начале процесса нанесения пасты заполняют ею отверстия трафарета контрракелем, а затем проводят выравнивание пасты в отверстиях трафарета с одновременным ее продавливанием на подложку ракелем, расположенным под углом 100-160° к поверхности печати. 1 ил., 1 табл.