УСТРОЙСТВО для ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИИЫ и СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК Советский патент 1966 года по МПК G01B7/06 G01P3/50 

Известны устройства для измерения толщины :и скорости нанесения пленок в процессе их нанесения на основу, содержащие два генератора, пьезорезонаторы, из которых один пьезорезонатор является эталонным и помеш.ен вне зоны контроля, с другой - измерительным и расположен в контролируемой части рабочего потока. Оба генератора соединены со смесителем, выделяющим разностную частоту, значение которой служит мерой толщ;и11Ы наносимой пленки. Однако в известных устройствах измерительные пьезорезонаторы нагреваются рабочим потоком, что вызывает погрешность измерения. Для расширения диапазона измеряемых толщин и автоматизации процесса в предлагаемом устройстве установлена заслонка с блоком управления, поочередно переключающая контролируемую часть потока наносимого материала с одного резонатора на другой и обратно. Входы смесителя частот соединены с генераторами; выходы - с исполнительным блоком. На чертеже изображена блок-схема описываемого устройства. Устройство содержит два пьезоэлектрических резонатора 1, подключенных к генераторам 2. Около резонаторов / помещается заслонка 3 с блоком управления 4. Сигналы с генераторов подаются на смеситель 5, соединенный с блоком управления 4. Устройство работает следующим образом. Пьезоэлектрические резонаторы 1 с заслонками 3 помещаются в контролируемой части потока напыляемого материала. Каждый из кристаллических резонаторов задает частоту соответствующего генератора. Частоты обоих генераторов смешиваются в смесителе 5, а сигнал, получаемый на выходе смесительного блока через блок управления 4, управляет заслонкой 3, направляющей поочередно поток напыляемого материала то на первый, то на второй резонатор. Предмет изобретения Устройство для измерения толщины И скорости нанесения пленок в процессе их .нанесения на основу, содержащее два пьезоэлектрических резонатора с генераторами, отличающееся тем, что, с- целью расширения диапазона измеряемых толщин и автоматизации процесса, в нем установлена заслонка с блоком управления, поочередно переключающая контролируемую часть потока на:носимого материала с одного резонатора на другой и обратно, -смеситель частот, входы которого соединены с генераторами, выход - с исполнительным блоком, управляющим положением заслонки.

i /////S 3