СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНБ1 И СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК Советский патент 1966 года по МПК G01B7/06 

Известные способы контроля скорости нанесения и измерения толщины пленок, наносимых на основу, заключаются в применении двух кристаллических резонаторов, каждый из которых задает частоту соответствующего генератора. При этом один из кристаллических резонаторов является эталонным, а второй (рабочий) помещен в контролируемом потоке.

По мере того как на рабочий кристаллический резонатор напыляется пленка испаряемого материала, возрастает его эффективная масса и, следовательно, уменьщается его собственная частота, а собственная частота эталонного кристаллического резонатора (при тех же температурных условиях) не изменяется.

Частоты обоих генераторов смещиваются в смесительном блоке, который выделяет разностную частоту. Эта разностная частота и служит мерой толщины слоя пленки, напыленной на рабочий кристалл.

Однако известные способы обладают рядом недостатков, основными из которых являются следующие:

толщин и получения информации в удобном для автоматизации процесса виде предлагается контролируемую часть потока наносимого материала, образующего пленку, переключать по достижении заданной части требуемой толщины с одного резонатора на другой и обратно, при этом о толщине пленки судят по числу переключений, а о скорости ее нанесения - по частоте переключений.

Предлагаемый способ заключается в следующем.

Кварцедержатель с кристаллами располагается в контролируемой части потока напыляемого материала и снабжается специальным устройством-электромагнитной заслонкой, позволяющей поочередно направлять поток напыляемого материала то на первый, то на второй кристалл (кристаллы должны быть идентичны по своим электромеханнческим и температурным параметрам). Каждый из кристаллических резонаторов задает частоту соответствующего генератора. Частоты обоих генераторов смещиваются в смесительном блоке, который выделяет разностную частоту, являющуюся мерой толщины одного цикла напыления между двумя переключениями электромагнитной заслонки из одного положения во второе.

сравнении с изменением их температуры), это позволяет Создать для обоих кристаллов нрактически идентичные температурные и электромеханические условия работы.

Предмет изобретения

Способ измерения толщи-ны и скорости нанесения пленок в процессе их нанесения на основу с помощью двух пьезоэлектрических резонаторов, отличающийся тем, что, с целью

расширения диапазона измеряемых толщин и получения информации в дискретном виде, удобном для автоматизации процесса, контролируемую часть потока наносимого материала, образующего пленку, переключают по достижении заданной части требуемой толщины с одного резонатора на другой и обратно, при этом о толщине ианесения лленки судят ;по числу переключений, а о скорости нанесения - по частоте переключений.