чими жидкостями 8 с различными молекулярными массами, причем молекулярная масса РЖ для эжекторной ступени 4 меньше молекулярной массы рабочей жидкости для высоковакуумной ступени 3.
Коллектор снабжен охлаждаемыми пластинами 11, размещенными внутри коллектора 6 с возможностью контакта с парами и конденсатом рабочих жидкостей 8а и 8Ь.
Насос работает следующим образом.
После включения нагревательных элементов 9 рабочая жидкость 8а и 8Ь нагревается, закипает, образовавшиеся пары рабочей поступают в паропроводы 5, где из сопел истекают со сверхзвуковой скоростью и образующаяся струя захватывает и увлекает поступающий в насос газ, перенося его в сторону форвакуума. Пары рабочей жидкости при соприкосновении с охлаждаемым корпусом 1 конденсируются и стекают вниз сначала в коллектор 6, а затем из последнего по сливным трубкам в кипятильник 7.
Образовавшийся пар рабочих жидкостей 8а и 8Ь из отдельных изолированных полостей кипятильника 7 поступает в соот- ветствующие ступени 3 и 4 насоса. При этом пар из полости 7а попадает в паропровод высоковакуумной ступени 3, обеспечивая низкое остаточное давление, а пар из полости 7Ь - в паропровод - сопло эжекторной ступени 4, обеспечивая высокое выпускное давление.
В коллектор 6 со специальными дополнительными пластинами 11 стекает сверху конденсат, который поступает на охлаждаемые пластины 11, обеспечивающие окончательную конденсацию рабочей жидкости и ее паров, контактирует с поверхностью пластин, после чего направляется в соответствующие полости разделенного кипятильника.
Изобретением обеспечивается обособленное дифференцированное поступление паров рабочих жидкостей с различными молекулярными массами в соответствующие паропроводы высоковакуумной и эжекторной ступеней насоса с необходимыми оптимальными параметрами и свойствами, чем достигается улучшение откачных характеристик. Размещение внутри коллектора охлаждаемых пластин, контактирующих с парами и конденсатом рабочих жидкостей
обеспечивает наиболее полную конденсацию последних.
Формула изобретения 1. Пароструйный вакуумный насос, содержащий корпус с трубками охлаждения,
высоковакуумную и эжекторную ступени, паропроводы с соплами, коллектор и кипятильник с нагревателем в виде двух изоли- рованных одна относительно другой полостей, одна из которых сообщена с высоковакуумной ступенью, а другая - с эжекторной, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, повышения выпускного давления, полости кипятильника заполнены рабочими жидкостями с различными молекулярными массами, причем молекулярная масса рабочей жидкости для эжекторной ступени меньше молекулярной массы рабочей жидкости для высоковакуумной ступени.
2. Насос по л.1,отличающийся тем, что коллектор снабжен охлаждаемыми пластинами, размещенными внутри коллектора с возможностью контакта с парами и конденсатом рабочих жидкостей.
Г -ЛЛЛ-«
ita
t-ЛЛА-
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Вакуумный пароструйный насос | 1990 |
|
SU1798549A1 |
Пароструйный вакуумный насос | 1990 |
|
SU1807246A1 |
Пароструйный вакуумный насос | 1985 |
|
SU1296749A1 |
Вакуумный пароструйный насос | 1990 |
|
SU1728538A1 |
Пароструйный вакуумный насос | 1990 |
|
SU1781466A1 |
ПАРОСТРУЙНЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1992 |
|
RU2056549C1 |
Пароструйный бустерный насос | 1989 |
|
SU1617213A1 |
МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ ПАРОСТРУЙНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1991 |
|
RU2050477C1 |
КОЛЬЦЕВОЙ ЭЖЕКТОР ДЛЯ ПАРОМАСЛЯНЫХ ВЫСОКОВАКУУМНЫХ НАСОСОВ | 1956 |
|
SU110171A1 |
МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ ПАРОСТРУЙНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1983 |
|
RU1133941C |
Авторы
Даты
1993-07-15—Публикация
1991-06-24—Подача