Способ испытания изделий на герметичность Советский патент 1993 года по МПК G01M3/02 

ющегося с поверхности внутренней емкости изделия 1, a также натекающего через несплошности в стенках изделия. При этом величина давления газа в замкнутой оболочке 5, окружающей изделие 1 (например, в отсеке КА), равна Pi - давлению, при котором эксплуатируется вакуумируемое изделие 1. Затем повышают давление газа в замкнутой оболочке 5 до величины Ра, например, наддувая отсек КА сжатым воздухом из баллона 6, и вновь измеряют величину суммарного газового потока Оа. Наконец измеряют величину суммарного газового потока Оз при давлении газа в оболочке 5, равном Рз, причем Рз превышает Ра.

При наличии в стенке изделия 1 несплошности поток газа через несплошность увеличивается вместе с давлением газа на входе в несплошность.

Величина потока газа, десорбирующе- гося с поверхности внутренней емкости изделия 1, при этом не изменяется, и приращение величины суммарного потока

А0а 0з-01 0нз-0н1 A(P3-Pi)+B(P32-Pi2).

(3)

5Решая систему линейных уравнений (2)

и (3) относительно А и В, получим следующие соотношения:

10

г1

A-RP2-P1) (РЗ-РО (РЗ-Р2)Л

(Рз2-Р12) AQi-(P22-Pi2) (4)

B (P2-Pi) (Рз-Р2) (Рз-Р1)Г1 15 (Рз-Р1) AQi + () A 02. (5)

Если за величину фактической негерме- тйчности Офакт, изделия 1 принимается величина газового потока, натекающего во внутреннюю полость изделия при давлении в оболочке 5, равном PI (например, равном атмосферному давлению), то, пользуясь соотношениями (4) и (5), получим

25

Офакт АР1 + ВР12 (Р2-Р1)х

AQi Qa-Qi

(и

A Wa Q3-Qi)

равно приращению потока газа, натекающего через несплошность. Таким образом, увеличение суммарного потока при повышении давления газа в оболочке 5 свидетельствует о факте негерметичности изделия 1. Определяют величину фактической негерметичности следующим образом. Известна зависимость величины потока Он газа в вакуум через микроканал от величины давления на входе в микроканал (см., например, Грошковский Я., Техника высокого вакуума. М.: Мир, 1975, с. 104-106):

QH Ap + Bp2

(D

где А и В - коэффициенты, зависящие от геометрической формы и размеров.микроканала, а также от рода газа, натекающего через микроканал.

Из соотношения (1) следуют выражения для приращения суммарного потока A Qi и АОа:

A Qi Qa-Qi 0на- QHI

A(P2-Pi)+B(P22-Pi2):

(2)

1-1

x(P3-Pi) (Рз-Ра)Г Pi Рз х х(Рз-РО ДСП-Pa (Pa-Pi) AQa. Формула из обретения

Способ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что вакуу- мируют внутреннюю полость изделия и измеряют величину суммарного потока газоотделения с поверхности внутренней полости и натекания контрольного газа во внутреннюю полость, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности контроля герметичности изделий, имеющих газоотделение с поверхности внутренней полости, превышающее величину допустимой негерметичности изделия, изделие помещают в камеру, дважды повышают внешнее давление газа на поверхность изделия и дополнительно измеряют при этом величину суммарного потока газоотделения с поверхности внутренней полости и натекания контрольного газа во внутреннюю полость, а величину негерметичности изделия определяют из соотношения

г1

55

Q (P2-.Pi) (Рз-Pi) (Рз-Р2)Г, / Pi P3 (P3-Pi)-(Q2-Qi)-P2x

x(P2-PiXQ3-Qi).

;где Pi - рабочее давление внешней среды;

I Qi - величина суммарного потока газа | при рабочем давлении;

I P2 давление внешней среды при до- толнительном его повышении;

X

{

Qa - величина суммарного газа при дополнительно повышенном давлении;

Рз - давление внешней среды при повторном повышении давления;

Оз - величина суммарного потока газа при повторном повышении давления.