Способ нанесения покрытия на движущуюся ленту горячего стекла Советский патент 1993 года по МПК C03C17/245 

Ё

Сущность изобретения: на движущуюся ленту горячего стекла наносят покрытие из смешанного газового турбулентного потока двух реагентов с числом Рейнольдса более 2500. Турбулентный поток второго газообразного реагента вводят в поток первого реагента под углом не более чем 90°. Первый реагент может содержать хлористое олово, второй - водяной пар, а также фтористый водород. Смешанный газовый турбулентный поток предпочтительно имеет число Рейнольдса более 6000. 3 з.л.ф-лы, 3 ил.

. Изобретение относится, в частности, к способу нанесения на стекло.покрытия, в котором по меньшей мере два газообразных ре л ген та вступают в реакцию с образованием покрытия на движущейся ленте горячего стекла.

Целью изобретения является повышение эффективности.

Изобретение показывает, что сравнительно толстые покрытия (200 нм и более) мо||ут быть успешно получены в сравнительно короткой камере для нанесения покры- тия на горячей ленте движущегося стекла из по (меньшей мере двух газообразных реагентов, взаимодействующих друг с другом. Способ получения таких покрытий заключаете 1 в создании первого потока первого газа1 реагента вдоль нагретой поверхности сте ела в первом общем направлении, параллельном направлению движения стекла, созданий второго потока газа-реагента в виде турбулентного потока во втором общем направлении под углом к первому общему направлению и к поверхности стекла, во введении второго потока в первый поток под указанным углом, избегая восходящего движения второго газа-реагента в первом потоке, направлении смешанного газового потока для нанесения покрытия вдоль поверхности нагретого стекла в первом общем направлении в виде турбулентного потока через зону нанесения покрытия. Отработанные газы для покрытия рекомендуют удалять с нагретого стекла.

Каждый из первых и вторых потоков может включать один или несколько реагентов для покрытия и газ-носитель, например азот или воздух, хотя понятно, что желательно

00

со

00

ю о ю

И

избегать смешивания в пределах как первого, так и второго потока газов, реагирующих друг с другом с образованием нежелательных отложений на стекле или оборудовании для нанесения покрытия еще до смешива- ния первого и второго потоков друг с дру- . гом.

Второй поток создают в виде турбулентного потока, поскольку Это необходимо для достижения удовлетворительной степени смешивания с первым потоком, уже контактирующим со стеклом. Турбулентность второго потока приводит к быстрому смешиванию двух газов и обеспечивает равно- мерное покрытие, наносимое в короткой зоне нанесения покрытия.

Выражение турбулентный поток, используемое в описании, означает поток, в котором флуктуации, хаотичные и во времени, и в пространстве, по скорости и по на- правлению налагаются на средние условия в потоке. Требуемая турбулентность потока может быть достигнута при работе со сравнительно высокими числами Рейноль- дса (как правило, по меньшей мере 2500) или при работе с несколько более низкими числами Рейнольдса и созданием в потоке достаточных восходящих отклонений, обес- печивающих турбулентность. Хотя работа при числах Рейнольдса ниже 2500 и может быть осуществлена, если создавать в потоке достаточные восходящие отклонения, тем не менее для создания необходимой турбулентности необходимы числа Рейнольдса по меньшей мере 1700, но в то же время при наложении достаточной деформации сдвига турбулентность может быть создана и при более низких числах Рейнольдса. Для смешанного потока обычно характерно число Рейнольдса по меньшей мере 2500. пред- почтительно по меньшей мере 6000.

Первый поток может быть турбулент- .ным или ламинарным. Рекомендуется, чтобы он совпадал с направлением движения стекла, и поскольку его общее направление параллельно направлению движения стекла, поток может несколько сходиться по направлению к стеклу или несколько отклоняться от стекла. Более того, совершенно необязательно, чтобы смешанный поток был точно параллелен стеклу, например средний поток может несколько сходиться со стеклом или несколько отклоняться от стекла при условии, что поток совпадает по направлению или противоположен по на- правлениюк направлению движения стекла и контактирует со стеклом в зоне нанесения покрытия.

Восходящего движения второго газа- реагента в первом потоке первого газе-peaгента необходимо избегать. Такое восходящее движение способно привести к неравномерному местному отложению материала покрытия в восходящем направлении от места, в котором второй газ-реагент вводят в поток первого газа-реагента. Таким образом, указанного восходящего движения необходимо избегать, чтобы не допускать какого-либо местного отложения покрытия, приводящего к существенной неравномерности конечного покрытия.

Для того, чтобы избежать какого-либо восходящего движения второго газа-реагента в первом потоке, второй поток рекомендуется создавать и вводить в первый поток под углом не более 90° к первому потоку. На практике рекомендуется использовать угол, близкий к 90°, поскольку такой угол, как найдено, сводит к минимуму отложения материала покрытия на выходе из канала для второго потока с одновременным исключением восходящего движения второго газа-реагента в первому потоке.

Найдено, что широкомасштабные структурные элементы потока, такие как вращающиеся пустоты или вихревое движение, способны привести к неравномерности покрытия, вследствие чего их надо избегать. На практике применение турбулентного потока уменьшает указанные элементы. Они могут быть еще больше уменьшены путем увеличения скорости потока второго газа- реагента, -вводимого в поток первого газа- реагента, и/или работой при скоростях смешанного потока более низких, чем скорость второго потока с замедлением газа второго потока при направлении его на нагретое стекло. С другой стороны, маломасш- табные структурные элементы, т.е. элементы с небольшими максимальными размерами (менее 20%, предпочтительно менее 10%) по сравнению с протяженностью зоны нанесения покрытия, в которой на большую толщину отлагается покрытие, приемлимы с точки зрения заметных отклонений от равномерности покрытия. Таким образом, мэломасштабные элементы, неизбежные в турбулентном потоке, могут быть приемлемы.

Предлагаемый способ особенно полезен для получения отражающегося инфракрасное излучение покрытия из оксида олова с использованием, например, четыреххло- ристого олова в качестве первого газа-реагента и паров воды в качестве второго газа реагента. Для усиления отражающей инфракрасное излучение способности покрытия в реакционные газы может быть введена легирующая добавка, такая как являющаяся источником сурьмы или фтора/

Д )угие покрытия, такие как покрытия из ок- cv да титана или нитрида титана, могут быть также нанесены предлагаемым способом. Д (я нанесения покрытия из оксида титана в «честве первого газа-реагента может быть применен четыреххлористый титан, а в качестве второго газа-реагента - водяной пар. Д 1я получения покрытия из нитрида титана в Kt честве первого газа-реагента может быть ис пользован четыреххлористый титана и в качестве второго газа-реагента - аммиак.

На фиг.1 представлена установка для rtc несения покрытия предлагаемым способе м, в разрезе; на фиг.2 показан вид А на фнг. фиг.З - ограничитель газового потока, используемый в установке, вид сбоку в азрезе.

Термины восходящий и нисходящий используются со ссылкой на направлении ДЕ ижения потоков газо-реагентов через камеру для нанесения покрытия. Рекомендуется, кас в специфичных вариантах, приведенных в виде примеров, чтобы это направление совпадало с направлением движения, стекла, но это необязательно. Изобретение может быть успешно использовано -и при противоточном движении потока газа-реагента к направленно движения стекла.

Установка для нанесения покрытия подведена над лентой 1 стекла, перемещаемой с г омощью валиков (не показаны) слева направо, к каретке 2, состоящей из горизонтальной пластины 3, к верхней поверхности которой приварены передние А и задние 5 крепящие кронштейны. Как правило, по вс р ширине установки предусмотрены три пеэедних и-три задних крепящих кронштейна в каждом случае один из кронштейнов ра:положен в центре, а два остальных - вб 1изи концов установки. Каждый из крепя- ш х кронштейнов свешивается с соответст- вуощей охлаждаемой водой балки (не показаны), располагающейся поперечно uiv рине стекла, на которое наносят покрытии. .

Нижняя часть установки состоит из ряда профилированных углеродных блоков 6, 7, }, 9, 10, 11. расположенных перпендику- ля но поверхности стекла, на которое нанося покрытие. Углеродные блоки образуют с поверхностью стекла камеру 12 для нанесе- ни 1 покрытия, имеющую потолок 13.14 ступенчатой конфигурации, причем потолок 13 в восходящем направлении от второго впускного канала 15 выше потолка 14 в нисходящем направлении от второго впускного канала. Углеродные блоки ограничивают по вертикали первый впускной канал 16 для по, 1ачи в камеру для нанесения покрытия пё )вого газа-реагента, по вертикали второй .

впускной канал 15 для подачи в камеру для нанесения покрытия второго газа-реагента, проход 17 для потока в камере для нанесения покрытия между первым впускным ка- 5 налом и вторым впускным каналом, выпускной канал 18 для удаления отработанных газов из камеры для нанесения покрытия и зону 19 для нанесения покрытия, образуемую проходом для потока газа в ка10 мере для нанесения покрытия между вторым впускным каналом 15 и выпускным каналом 18.

Каждый из углеродных блока подвешен ниже„горизонтальной пластины 20. Блоки

15 имекуг каналы (не показаны) для жидкого теплоносителя, такого как охлаждающая вода, и при работе установки температуру углеродных блоков регулируют пропусканием охлаждающей воды по этим каналам.

0 Камера 12 для нанесения покрытия имеет открытую поверхность, направленную поперечно ленте 1 стекла, на которое наносят покрытие. В восходящем конце камеры для нанесения покрытия углеродные блоки

5 6 и 7 ограничивают по вертикали первый впускной канал 16, через который в камеру впускают первый газообразный реагент. В нисходящем направлении от первого впускного канала между углеродными блоками 7

0 и 8 создается второй вертикальный канал 15 для подачи в камеру для нанесения покрытия второго газообразного реагента. В нисходящем конце камеры для нанесения покрытия углеродные блоки 10 и 11 ограни5 чивают выпускной канал 18. служащий для удаления из камеры отработанных газов.

Первый газ-реагент подают в первый впускной канал 16 по газоподающему каналу (не показан) через канал-распределитель

0 21 и ограничитель 22 газового потока. Канал-распределитель ограничен передними 23 и задними 24 стенками в форме инвертированных лопастей, сближающихся друг с другом в нисходящем направлении с обра5 зованием в нижней части канала узкой щели

25, направленной поперечно ширине ленты стекла, на которое наносят покрытие.

Первый газ-реагент, поступающий из щели 25 в основании канала 21, пропускают 0 через ограничитель 22 газового потока, расположенный ниже канала 21. Ограничитель 22 (фиг.З) состоит из противоположно рас положенных пар удлиненных стенок 26. 27 и 28,.29, образующих удлиненную камеру 5 30. Удлиненные стенки направлены перпендикулярно в поперечном направлении к ленте стекла, на которое наносят покрытие. Стенки 26 и 28 являются восходящими, а стенки 27 и 29 - нисходящими. На каждом конце удлиненной камеры 30 имеются противоположные концевые стенки 3.1, причем каждая концевая стенка расположена параллельно движению стекла.

У впускного конца ограничителя 22 газового потока предусмотрен впускной ограничитель 32, представляющий собой удлиненный впускной пластинчатый элемент 33, проходящий поперек камеры 30. Впускной пластинчатый элемент герметично фиксирован между противоположно рас- положенными парами пластин 34, 35, причем каждая пара пластин прикреплена, например приварена, к соответствующей удлиненной стенке 26,27 и к каналу-распределителю 21. Пластины каждой пары крепко связаны друг с другом с помощью нарезанных соединителей 36. Между каждой парой пластин 34, 35 и впускным пластинчатым элементом 33 имеются прокладки {не показаны).

По всей длине впускного пластинчатого элемента 33 имеется ряд отверстий 37, соединяющих впускной конец ограничителя газового потока с остальной частью камеры 30. Отверсти я 37 представляют собой круглые дырки предпочтительно диаметром 2- .10 мм. В одном из особенно рекомендуемых вариантов диаметр отверстий 4 мм с центрами, отдаленными друг от друга на 20 мм. Ряд отверстий 37 расположен на восходящей стороне удлиненной камеры 30.

Рядом с выходом 38 ограничителя 22 газового потока расположен выпускной ограничитель 39. Его конструкция такая же, что и впускного ограничителя 32, т.е. он имеет удлиненный выпускной пластинчатый .элемент 40, герметично фиксированный между противоположно расположенными парами пластин 41, 42, прикрепленных, например приваренных, к соответствующим удлиненным стенкам 28,29. Пластины 41,42 отделены от выпускного пластинчатого элемента 40 прокладками (не показаны) и крепко связаны друг с другом нарезными соединителями 43, которые также крепко связывают пластины 41,42, а в итоге и ограничитель газового потока, с пластиной 19, к которой подвешены графитовые блоки 6, 7, В выпускном пластинчатом элементе 40 имеется ряд отверстий 44 предпочтительно диаметром 2-10 мм, и в одном из особенно рекомендуемых вариантов диаметром 4 мм с центрами отверстий, удаленных друг от друга на 10 мм. Ряд отверстий. 44 расположен на восходящей стороне камеры 30.

Отражатель 45 потока газа расположен у выхода 38 из ограничителя 22 газового потока ниже выпускного пластинчатого элемента 40 и состоит из 1 -о5оазного элемента 46, составляющего одно целое с олной из

пластин 41 и расположенного рядом с отверстиями 44. Свободный конец 47 L-образ- ного элемента 46 направлен вверх по направлению к выпускному пластинчатому

элементу 40. с которым образует зазор 48, через который газ-реагент из отверстий 44 должен проходить после отражения от горизонтальных ответвлений 49 L-образного элемента 46.. .

0 Назначение отражателя 45тазового потока заключается в ликвидации определенных локализованных повышений в газовом потоке, которые могут произойти.

К примеру, имеется тенденция к повыше5 нию интенсивности газового потока в непосредственной близости к каждому из отверстий 44 в пластинчатом элементе 40 ниже этого элемента. Наличие отражателя газового потока выравнивает также локализованные повы0 шения интенсивности потока. В некоторых случаях может оказаться возможным исклю- чить отражатель газового потока из конструкции ограничителя газового потока.

Промежуточный ограничитель 50 распо5 ложен между впускным 32 и выпускным 39 ограничителями. Его конструкция совпадает с конструкцией впускного ограничителя 32 и включает в себя удлиненный промежуточный пластинчатый элемент 51 с рядом

0 отверстий 52. Промежуточный пластинча-, тый элемент 51 герметично фиксирован между противоположно расположенными парами горизонтальных пластин 53, 54, прикрепленных, например приваренных к

5 удлиненным стенкам 26,28, 27 и 29 соответственно. Между пластинами 53, 54 и проме-- жуточным пластинчатым элементом 51 имеются прокладки (не показаны), и пластины 53,54 соединены друг с другом нарезны0 ми соединителями 55. Ряд отверстий 52 в промежуточном пластинчатом элементе 51 в отличие от впускного и выпускного пластинчатых элементов расположен на нисхо- . дящей стороне удлиненной камеры 30, т.е.

5 отверстий 52 расположен ближе к нисходя-, щим стенкам 27, 29, чем к восходящим стенкам 26, 28 камеры 30. Такое расположение ряда отверстий в рядом расположенных удлиненных пластинчатых элементах приво0 дит. к тому; что они находит не на одной. линии по отношению друг к другу.

Второй газ-реагент подают по второму . впускному каналу 15 из второго газоподво- дящего.канала (не показан) через канал-рас5 пределитель 56 той же конструкции, что и канал-распределитель 21 и затем ограничитель 57 газового потока той же конструкции. что и о граничитель 22 газового потока.

Отработанные газы, проходящие по вы.- пускному каналу 18, затем проходят через

к0нал 58 в объемном элементе 59, после чего поступают в выпускной канчл 60, передняя 61 и задняя 62 стенки которого имеют форму инвертированных лопастей. Отработанные , непрореагировавшие газы-реагенты и г&зы-носители из выпускного канала со стенками в форме инвертированных лопастей попадают в проход для отработанных газов (не показан).

. i Высоты углеродных блоков 6, 7 и 8, ограничивающих первый впускной канал 16 и второй впускной канал 15, выбирают соответственно такими, чтобы потолок 13, 14 камеры 12 для нанесения покрытия имел ступенчатую конфигурацию в месте соединения второго впускного канала 15 с камерой для нанесения покрытия, при этом фтолок 13 камеры 12 на восходящей стороне второго впускного канала 15 находится на более высоком уровне по сравнению с потолком 14 камеры на нисходящей стороне второго впускного канала 1:5 и, как видно на фиг.1, .линия, соответствующая потолку в Продольном сечении, имеет непрерывный и .Ступенчатый характер. Так, нижняя часть блока 8 может быть на 10 мм ниже нижней части блока 7. В результате основание восходящей стенки 63 второго впускного канала может быть на 10 мм выше нисходящей стенки 64 того же канала с образованием Спускной щели 65 со ступенчатой конфигу-. рацией. Такая ступенчатая щель сводит к минимуму количество .твердого материала Покрытия, отлагаемого на боковых стенках второго впускного канала 15 вблизи впуск- Нюй щели. Восходящий верхний конец углеродного блока 8 может быть исполнен в|ыпуклым (не показано)-, например с радиусом кривизны для ступенчатой впускной щели 10 мм и высотой ступеньки 10 мм.

В работе установка для нанесения покрытия подвешена над лентой 1 стекла на .бысоте, при которой углеродный блок 11 в «исходящем конце установки расположен на высоте порядка 10 мм от поверхности ленты стекла, на которое наносят покрытие, (Первый газ-реагент, обычно разбавленный газом-носителем, подают в канал-распределитель 21 и газовый ограничитель 22, обеспечивающий равномерное распределение газа по всей ширине стекла, на которое наносят покрытие. Выходящий из газового ограничителя 22 газ проходит через первый Спускной канал 16 и попадает в камеру 12 для. нанесения покрытия, где проходит в первом общем направлении, параллельном Стеклу, вдоль прохода в камере 12 по направлению к основанию второго впускного канала 15. Второй газ-реагент, обычно разбавленный газом-носителем.. подают в канал-распредепитель 56 и газовый ограничитель .57 с гарантированным равномерным распределением второю газообразного реагента по всей ширине стекла. 5Второй газ-реагент, включая и газ-носитель, подают в канал-распределитель 56 со скоростью, достаточной для создания турбулентного потока газа-реагента из второго

впускного канала 15, попадающего в камере 10 для нанесения покрытия в поток первого газа-реагента, при этом относительные скорости первого и второго потоков выбирают такими, при которых исключается восходящее движение второго газа-реагента в пер- 5 вом пбтоке.

Поток смешанного газа направляют в виде турбулентного потока над поверхностью стекла через зону 19 нанесения покры0 тия, где два газа-реагента взаимодействуют с нанесением покрытия на поверхности горячего стекла. Газ-носитель, непрореэгиро- вавшие газы-реагенты и отработанные газы удаляют из реакции в зоне нанесения по5 крытия и с нагретого стекла через выпускной канал 18. созданием пониженного давления (например, отсосом с помощью вытяжного вентилятора - не показан) в канале 60 для отработанных газов, имеющие

0 расходящиеся в направлении вверх переднюю и заднюю стенки в форме инвертированной лопасти. С помощью пониженного давления не только удаляется газ из зоны нанесения покрытия, но может быть вызван

5 приток внешней атмосферы под нисходящим 63 и аосходящмм 64 концами установки для нанесения покрытия.

Первый поток первого газа-реагента, поступающий по первому впускному каналу

0 16, может быть турбулентным или ламинарным.

Использование камеры для нанесения , покрытия с потолком ступенчатой конфигурации в месте входа второго впускного ка5 нала обеспечивает работу установки продолжительное время без нежелательного забивания второго впускного канала, происходящего вследствие отложения в канале материала покрытия. Применение спо0 соба и установки, описанных выше, для нанесения покрытия из оксида олова, легит рованного фтором, на ленту горячего стекла

иллюстрируется нижеследующими примерами,.

5 П р и м е р 1. Ленту флоат-стекла (4 мм) пропускают под установкой для нанесения покрытия при скорости ленты 540 м/ч. Установку располагают перед лером при температуре стекла под ней 580°С. Первый газ-реагент, состоящий из четыреххлористого олова, предварительно нагревают до 345°С сухим воздухом, служащим также газом-носителем, и подают в канал-распределитель. Скорость подачи четыреххлористого олова 84 кг/ч, скорость подачи сухого возду- ха 105 м3/ч (измерения при нормальных условиях). Первый газ-реагент проходит через канал-распределитель и ограничитель газового потока, распределяющий газ по всей ширине камеры для нанесения покрытия с обеспечением однородного потока первого газа-реагента по всей ширине камеры в на- правлении впускного канала. Газ, поступающий из выпускного канала, смешивается с потоком воздуха, выпускаемого под нисхо- дящей пятой, и проходит в первом общем направлении, параллельном стеклу, по проходу в направлении второго впускного канала и зоны нанесения покрытия. Число Рейнольдса выходящего из выпускного ка- нала потока согласно расчетам 1300.

Второй газ-реагент, содержащий 20% фтористоводородной кислоты в предварительно нагретом до 402°С воздухе, подают в.о-;впускной канал-распределитель. Скоро- Сть пОдйчи фтористоводородной кислоты 34 кг/ч, скорость подачи воздуха 620 м3/ч (соответствует нормальным условиям). Второй газ-реагент проходит через канал-распределитель и ограничитель газового потока, распределяющий газ по всей ширине установки для нанесения покрытия с обеспечением равномерного потока второго газа-реагента по всей ширине установки-в направлении впускного канала. Выходящий из второго впускного канала газ.представляет собой турбулентный поток, который смешивается с первым потоком первого газа-реагента, проходящего над поверхностью стекла. Число Рейнольдса выходящего из впускного канала газа.согласно расчетам

При введении второго потока газа из впускного канала в установившийся лоток из впускного канал вдоль прохода газы-реа- генты быстро смешиваются и в камеру для нанесения покрытия поступает смешанный поток. Число Рейнольдса потока смешанного газа в камере для нанесения покрытия согласно расчетам 7600 благодаря влиянию потока газа, подаваемого, под нисходящей пятой. Восходящего движения второго-газа реагента в первом потоке первого газа-реагента .избегают путем ограничения скорости второго пбтока по впускному каналу и обес- печения достаточно высокой скорости удаления газов через выпускной канал 18.

Отработанный газ для нанесения покрытия удаляют с нагретого стекла через выпускной канал и канал-распределитель

создание пониженного давления (7.5 миллибар ниже атмосферного давления) в начале канала.

Описанный способ приводит к удовлетворительно равномерному покрытию из оксида олова, легированного фтором, средней толщины 270 нм с интервалом толщины 250-275 гм (за исключением краев) при использовании относительно короткой зоны для нанесения покрытия, примерно в 75 см. расположенной между впускным каналом и выпускным каналом. Стекло с нанесенным покрытием имеет ирридесцентную отражающую окраску, которая вследствие узкого колебания покрытия по толщине (±5%) может быть легко ликвидирована использованием подслойного цветогашения.

П р и м е р 2. Воспроизведена методика примера 1 со следующими изменениями. В первом газе-реагенте четыреххлористое олово подают со скоростью 74 кг/ч, предварительно нагреты до, 300°С воздух подают со скоростью 180 м3/ч (в пересчете на нормальные условия). Число Рейнольдса выходящего из впускного канала газа согласно расчетам 1900. Второй газ-реагент кроме 20% фтористоводородной кислоты содержит водяной пэр и предварительно нагретый до 250 С воздух. Водяной пар подают со скоростью 120 кг/ч, фтористоводородную кислоту - со скоростью 35 кг/ч и воздух - со скоростью 576 м3/ч - (в пересчета на нормальные условия). Число Рейнольдса выходящего из выпускного канала газа согласно расчетам 6100 и число Рейнольдса смешанного потока в камере для нанесения покрытия согласно расчетам 8400, Пониженное давление, создаваемое для удаления отработанных газов покрытия с поверхности стекла, 5 миллибар ниже атмосферного давления.

Описанный способ приводит к удовлетворительно равномерному покрытию из оксида олова, легированного фтором, с толщиной 303-320 нм. Стекло с нанесенным покрытием имеет ирридесцентную отраженную окраску, которая вследствие небольшого колебания толщины покрытия может быть легко подавлена .применением подслойного гашения окраски.

Из вышеизложенногоо видно, что способ позволяет наносить сравнительно толстые (200 нм и более) покрытия с удовлетворительной степенью однородности в зоне для нанесения покрытий длиной менее 2 м, предпочтительно менее 1 м.

Формула изобретения

Пропускания ого п зоне нанесения покрытия а|доль поверхности стекла и удаления отработанною газа, отличающийся тем, Что, с целью повышения эффективности, со- задают турбулентный поток второго газообразного реагента, который вводят в поток первого реагента под углом не более чем 9О°, направляя в зону нанесения покрытия Смешанный газовый турбулентный поток с числом Рейнольдса более 2500.

/7 7 13 63 12 65 15 &

0

(pt/.i

MA

/

V

Фиг. г

/

/

Л

VA

to--..W 16 38 47 Фиг.З

35