ЗЕРКАЛЬНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП Советский патент 1966 года по МПК H01J37/29 

Известны зеркальные электронные микроскопы с пятиэлектродным иммерсионным объективом. В этих микроскопах объектив закреплен в колонне микроскопа жестко.

В предложенной конструкции объектив за.креплен в колонне микроскопа с помощью амортизирующей подвески, что позволило значительно снизить астигматизм электронно-оптической системы и, таким образом, повысить разрешающую способность микроскопа.

На чертеже изображен микроскоп в разрезе.

Плато /, на котором крепится и предварительно юстируется пятиэлектродный иммерсионный объектив 2, опирается на выступы колонны 3 с помощью болтов 4, закрепленных

внутри возвратных пружин 5. Это дает возможность двумя ручками 6 с эксцентриками, расположенными под углом 90° относительно друг друга, менять угол наклона объектива относительно оптической оси микроскопа до 7°.

Предмет изобретения

Зеркальный электронный микроскоп, содержащий колонну с пятиэлектродиым иммерсионным объективом, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешения микроскопа, пятиэлектродный иммерсионный объектив закреплен в колонне с помощью амортизирующей подвески.