СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСЕЙ ВЕЩЕСТВ КАТОДНЫ.\1 РАСПЫЛЕНИЕМ Советский патент 1967 года по МПК C23C14/36 C23C14/06 

Известны способы получения пленок из смесей веществ катодным распылением, в которых используются либо катоды из сплава, либо мозаичные катоды, представляющие собой набор примыкающих друг к другу площадок распыляемых веществ. Однако эти способы обладают следующими недостатками: не всегда представляется возможным приготовить сплав из исходных материалов; при распылении мозаичного катода на покрытии обнаруживается структура поверхности катода; на поверхности катода образуется пленка, обогащенная веществом с больщей скоростью распыления.

Для получения пленок заданных состава и толщины предлагается способ, при котором пленку на подложку наносят последовательно с каждого из изолированных друг от друга катодов, причем время выдержки под каждым катодом соответствует времени напыления пористого слоя из компонента соответствующего катода.

Предлагаемый способ состоит в том, что подложку поочередно помещают под катоды из напыляемых материалов. Во избежание образования слоистого покрытия из чередующихся пленок распыляемых компонентов время очередного пребывания (экспозиция) подложки под каждым из катодов должно быть

равно времени, необходимому для образования пористого слоя напыляющегося с данного катода вещества.

Способ осуществляется в вакуумной установке, снабженной необходимым количеством катодов (по числу компоиеято.в смеси). Пропесс нанесения пленки смеси состоит из ряда последовательно чередующихся экспозиций подложки под каждым из катодов.

Время образования слоя каледого из компонентов определяется, исходя из размеров молекул распыляющихся веществ (а) и реальных скоростей образования пленок (v). Тогда время пребывапия образца под катодом (в случае двух катодов) не должио превыщать

1 а величины: Т .

Изменяя напряжение на одном из катодов, высоту расположения его над образцом или углы рабочих секторов катодов, регулируют количественное соотнощение компонентов в смеси.

Предлагаемый способ наиесения слоев из смесей обеспечивает возможность создания не только однородных, но также и неоднородных пленок, состав которых в направлении, перпендикулярном к подложке, изменяется по 3 Предмет изобретения Способ получения пленок из смесей веществ катодным распылением, отличающийся тем, что, с целью получения пленок заданных со- 5 става и толщины, пленку на подложку нано4сят последовательно с каждого из изолированных друг от друга катодов, причем время выдержки под каждым катодом соответствует времени напыления пористого слоя из компонента соответствующего катода,