СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ Советский патент 1967 года по МПК C30B33/10 C30B29/40 

Способ выявления неоднородностей в распределении примесей в монокристаллах полупроводников путем анодного травления известен.

Особенностью предложенного способа является то, что травление осуществляют в электролите, состоящем из насыщенного хлористым аммонием раствора одного объема концентрированной соляной кислоты в трех объемах воды в течение 8-10 мин при плотности тока 180-220 а/см. Это дает возможность выявить неоднородности в распределении примесей в кристаллах антимонида галлия.

По онисьшаемому способу травлению подвергали монокристаллы антимонида галлия, ограниченные плоскими поверхностями, или образцы, шлифованные окисью алюминия. Исследуемый образец и нластинку из тантала, служащую катодом, погружали в электролит,

представляющий собой насыщенный хлористым аммонием раствор одного объема концентрированной соляной кислоты в трех объемах воды. Травление производили при плотности тока 180-220 ма/слс в течение 810 мин при комнатной температуре, после чего образцы промывали водой.

Предмет изобретения

Способ выявления неоднородностей в распределении примесей в монокристаллах полупроводников путем анодного травления, отличающийся тем, что, с целью определения неоднородностей в кристаллах антимонида

галлия, образцы антимоцида галлия нодвергают травлению в насыщенном хлористым аммонием растворе одного объема концентрированной соляной кислоты в трех объемах воды в течение 8-10 мин нри плотности тока 180-220 лш/слг2.