Известны насадки термоанемометра, содержащие электроды из металлической пленки, нанесенной по периметру на основу из диэлектрика.
В предложенном насадке термоанемометра в отличие от известных чувствительный элемент выполнен в виде полупроводниковой пленки, коаксиально расположенной между концами изолированных электродов, имеющих участок перекрытия.
Это позволяет повысить чувствительность насадка при сохранении его высокой механической прочности.
На чертеже схематически изображен насадок термоанемометра.
Нить насадка крепится к его опорам 1 мягким припоем 2 и состоит из кварцевой сердцевины 3, токоподводящих электродов 4 и 5 и чувствительного элемента 6. Токоподводящие электроды в виде платинового покрытия толщиной в несколько десятых долей микрона предназначены для подвода электрического тока к чувствительному элементу 6.
Чувствительный элемент 6 представляет собой полупроводниковую пленку толщиной в доли микрона, например, из окислов кобальта и марганца, нанесенную в середине нити на один из концов платинового токоподводящего электрода 4 с частичным лерекрытием оголенного участка кварцевой сердцевины 3. Полупроводниковая пленка с другим токоподводящим электродом 4 соединяется при помощи металлической пленки.
При такой конструкции нити электрический ток идет по радиусу нити в направлении нормали к чувствительному элементу, которым по существу является участок полупроводниковой пленки длиной /. Такое соединение обеспечивает оптимальную величину электрического сопротивления чувствительного элемента 6, а незначительная толщина полупроводниковой пленки и токоподводящих электродов - малую постоянную времени насадка термоанемометра. Высокая
механическая прочность достигнута благодаря применению нити с кварцевой силовой сердцевиной.
Предмет изобретения
Насадок термоанемометра, содержащий электроды из металлической пленки, нанесенной по периметру нити из диэлектрика, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности при сохранении высокой механической прочности насадка, чувствительный элемент выполнен в виде полупроводниковой пленки, коаксиально нанесенной между концами изолированных электродов, имеющих участок перекрытия.
2 3
