ГЕРМОАНЕМОМЕТР ДЛЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫХ ПОТОКОВ Советский патент 1970 года по МПК G01P5/02 

Изобретение относится к области измерительной техники.

Известные пленочные термоанемометры с кварцевым покрытием обладают малой инерционностью; кроме того, малая толщина покрытия снижает механическую прочность и величину пробойного напряжения термоанемометра.

С целью повышения чувствительности и расширения рабочего диапазона в предлагаемом термоанемометре чувствительный элемент выполнен двухслойным, внутренний слой которого металлический, а внешний, толщиной 3- 5 мкм, из ароматического полимиида, например полипиромеллитимида.

Схема устройства дана на чертеже.

В стеклянную подложку / устройства введены платиновые контакты 2, которые выведены на рабочую плоскость подложки и отполированы заподлицо с ее поверхностью. Чувствительным элементом прибора является вожженая платиновая пленка 3. Для применения пленочного термоанемометра в электропроводных и агрессивных средах чувствительный элемент закрывается полимерным покрытием 4, химически и механически стойким к указанным средам.

ствами (удельное электросопротивление 10 ом- см).

Датчик с полимерным покрытием устанавливается в стенку канала или на поверхности

модели. В основу его работы заложен принцип термометра сопротивления. Чувствительный элемент термоанемометра запитывается электрическим током. Платиновая пленка охлаждается протекающей жидкостью, что вызывает

падение температуры пленки и, следовательно, уменьшение ее электрического сопротивления. При измерениях используется общепринятая мостовая схема. В одно плечо моста Уитстона включается нагретая пленка, а в диагонали

моста регистрируется изменение напряжения, соответствующее изменению электрического сопротивления датчика.

Тепловые свойства полимерного покрытия в 25 раз лучше, чем покрытия из кварца. Это

дает возможность при сохранении минимальных толщин покрытия регистрировать пульсации, по крайней мере, на порядок выше или, ограничиваясь диапазоном частот регистрируемых термоанемометром с кварцевым покрытием, увеличить толщину покрытия в 5 раз, что улучшает его характеристики.

Предмет изобретения

Термоанемометр для электропроводных потоков, содержащий чувствительный элемент на стеклянной подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, расши2S5388

рению его рабочего диапазона, чувствительный элемент выполнен двухслойным, внутренний слой которого металлический, а внешний толш,иной 3-5 мкм из ароматического полимиида, например полипиромеллитимида.