КАССЕТА ДЛЯ ГРУППОВОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВБ1Х ПЛАСТИН Советский патент 1967 года по МПК H01L21/00 

Известные устройства для групповой обработки полупроводниковых пластин представляют собой кассеты прямоугольной формы с пазами для вертикального расположения заготовок. При выполнении операций, связанных с вращением заготовок, например сушки на центрифуге производится перекладка заготовок из кассеты в специальное устройство, фиксирующее их при вращении. При этом не исключена возможность загрязнения заготовок, что в полупроводниковом производстве недопустимо. Кроме того, сама перекладка, производимая, как правило, в герметичных скафандрах является трудоемкой операцией.

Предлагаемая кассета для групповой обработки изделий дисковой формы выполнена в виде цилиндра с радиальными пазами для фиксации заготовок, что позволяет производить как обработку изделий в жидких средах, так и сущку на центрифуге без перекладки. Из каждой пары пазов один выполнен по образующей конуса, что позволяет обрабатывать в одном устройстве изделия различного диаметра.

Па чертеже показана предлагаемая кассета в плане и сечение по Л-А.

Обрабатываемые изделия 1 располагают в радиальные пазы кассеты, представляющей собой цилиндр 2. Один из каждой пары пазов вынолнен по образующей конуса 3, благодаря чему пластины любого диаметра находятся в устойчивом ноложении. Кассету устанавливают на шниндель центрифуги.

Кассета может быть использована, например, для обработки кремниевых или германиевых пластин в производстве полупроводниковых приборов.

Предмет изобретения

Кассета для групповой обработки полупроводниковых пластин, отличающаяся тем, что, с целью обработки пластин различных диаметров и фиксации их в кассете, она выполнена в виде цилиндра с радиальными пазами, причем в каждой паре пазов один выполнен по образующей конуса.