Полупроводниковая керамика Советский патент 1979 года по МПК C04B35/46 G01W1/11 

Изобретение относится к области изготовления датчиков влажности воздуха.

Известно использование полупроводниковой керамики, основным ингредиентом которой при изготовлении датчиков влажности воздуха является двуокись титана.

Однако датчики, вьшолненные на основе такой керамики, имеют.высокое электрическое сопротивление, соизмеримое с сопроттивлением изоляции, что требует, в свою очередь, включения их в сложные измерительные схемы. Кроме того, они не обеспечивают надежных намерений относительной влажности, особенно при низких ее значениях в широком диапазоне регистрируемых в атмосфере температур.

С целью повышения чувствительности и надежности датчиков в состав керамики вводят трехокись вольфрама до 1О вес.%

Датчики изготавливают в виде пластин, трубок или стержней с нанесенными на их поверхности электродами в виде гребенки.

Изготовление датчика на основе предлагаемой керамики состоит из следующих операций:подготовки материалов,прессовки брикетов, обжига их и нанесения электродов.

В порошок двуокиси титана вводят коллоидный раствор трехокиси вольфрама. Смесь просушивают при температуре 1ОО-11О С, размельчают и протирают через капроновое сито. Порошок обжигают 1 ч при 115О С, а затем вторично измельчают и после добавления в него углерода и раствора поливинилового спирта протирают через капроновое сито.

Из полученной смеси прессуют брикеты заданных размеров при 1авлении около 1000 атм. Брикеты обжигаются при температуре 120О С в течение 1 ч причем температура повышается за первый час на 400 С, а затем по 200°/ч После обжига происходит свободное охлаждение в печи.

Поверхность брике.тов обрабатывают спиртом и на нее наносят электроды за- данйой конфигурации по трафарету спо,2О6148

собом распыления металла в вакуумевенно для изготовления датчиков влажили металлической краской с последующимности, отличающаяся тем,

вжиганием.что, с целью увеличения чувствительности

Формулаизобретенняи надежности датчиков, в ее состав

Полупроводниковая керамика на основе введена трехокись вольфрама до

двуокиси тнтана, используемая преимущесп-Ю вес.%.

.4