СПОСОБ АКТИВИРОВАНИЯ ВТОРИЧНОЭЛЕКТРОННЫХЭМИТТЕРОВ Советский патент 1968 года по МПК H01J9/12 

Известен способ активирования вторичноэлектронных эмиттеров, выполненных из магниевой бронзы, путем их прогрева в кислороде. Однако изменение коэффициента вторичной электронной эмиссии таких эмиттеров (а) после пребывания на воздухе достаточно велико.

Предлагаемый способ активирования эмиттеров из магниевой бронзы отличается от известного тем, что на эмиттер катодным распылением в аргоне или вакуумным иснарением наносят слой золота, а окисление сплава проводят при температуре около 500°С до поглощения 10 мкг/см кислорода при давлении мм рт. ст.

Р1сследование свойств эмиттеров показало, что изменение их а при хранении как в сухом, так и влажном воздухе значительно меньше, чем у эмиттеров, покрытых золотом, и происходит в основном за первые 100-150 час хранения. Для достижения максимальной устойчивости активировка эмиттеров со слоями золота должна производиться при температуре около 500°С. При более высокой температуре (650-800°С) начинается взаимная усиленная диффузия золота и меди, слой золота обогащается медью, и устойчивость падает. При более низкой температуре (450°С) скорость

диффузии магния из сплава через слой золота уменьщается, вследствие чего трудно сформировать достаточно толстый слой окиси магния, обеспечивающий необходимый о. Устойчивость эмиттеров практически не меняется при увеличении слоя золота от 200 до 3500 А.

Слой золота должен наноситься катодным распылением в аргоне либо вакуумным испа0рением. При нанесении этого слоя катодным распылением в воздухе сплав под слоем золота окисляется и устойчивость эмиттера не отличается от устойчивости для незащищенного сплава.

5

При использовании предлагаемого способа активир ования эмиттеров из магниевой бронзы величина изменения их а при энергиях первичных электронов в 200-300 эв находится на границе точности измерений (О-1,)0

Повыщение устойчивости эмиттеров из магниевой бронзы к длительному воздействию воздуха при нанесении на нее слоя золота объясняется, видимо, уменьщением механических напряжений в эмиттирующем слое окисла магния, обусловленным близкими величинами атомных объемов и коэффициентов термического расширения у окисного слоя и иодложки - сплава. 3 Предмет изобретения Способ активирования вторичноэлектронных змиттеров, изготовленных из магниевой бронзы, путем их прогрева в атмосфере кис-5 лорода, отличающийся тем, что, с целью повыщения устойчивости коэффициента вторичной электронной эмиссии эмиттеров к дли4тельному воздействию воздуха, на сплав катодным распылением в аргоне или вакуумным испарением наносят слой золота толщиной 200-ЗООА, а последующее окисление проводят при температуре около 500°С до поглощения 10 мкг/см кислорода при давлении мм рт. ст.