Способ изготовления вторично-электронного эмиттера Советский патент 1944 года по МПК H01J9/12 

Известные до сих пор эмиттеры вторичных электронов обладают малыми коэфициентами вторичной эмиссии, не выдерживают больших плотно.стей тока, работают при невысоких температурах к при сравнительно вы:соких рабочих напряжениях.

Все существующие эмиттеры изготовляются в .вакууме, требуют индивидуалБНОй обработки, что связано с малым выходом продукции или с введением дополнительных операций в технологический процесс, а получающиеся эмиттеры мало эффективны.

В результате ,работ по эмиттерам вто-ричных электронов были получены эффективные термостойкие эмиттеры с коэфициентами вторичной эмиссии, достигающи;ми з 50-70, при скорости первичных электронов 80-120 вольт. Указанные эмиттеры допускают нагревание до 500° без изменения их электрических свойств. Однако получение таких эмиттеров связано также с вакуумной обработкой.

Получение эмиттеров по предлагаемому способу не связано с указанными выще недастатками, производственно эффективно и технологически просто.

По указанию изобретателей, изготовленные по предлагаемому способу поверхности позволяют получать коэфициенты вторичной эмиссии порядка 3 30-50 при скорости первичных электронов 80-120 вольт и не изменяют своих свойств в рабочем (режиме до 400°. Кроме того эти поверхности допускают прогрев при обезгаживании деталей в вакууме до 1000-1100°.

Приведённые данные для эмиттеров получены на окислах алюминия, бериллия, бария, 1магния и цинка, нанесённых на металлическую поверхность.

В качестве металлической поверхности использовались: никель, молибден, серебро. Лучшие результаты получаются при использовании никеля с крупнозернистой кристаллической структурой поверхности. Такая структура заменяет собой металлические Вкрапления в слой эмиттера, которые в некоторых случаях необходимо вводить в слой окислов металлов в мелко дисперсном состоянии.

Для изготовления поверхности эмиттера указанные окислы переводились в коллоидальное состояние и намосились путём пульверизации или конденсацией дымов (аэрозолей); в случае пульверизации применялись органические растворители.

Хорошие результаты получены с высокодисперсными коллоидальными составами, приготовленными электрической дугой или искрой между электродами какого-нибудь из приведённых выше металлов в 80-П|роцен)тном этиловом спирте, а также с суспензией кондепсированного дыма окиси металла в органическом растворителе.

Конденсация окиси производилась на охлаждаемой поверхности при сожжении металла в атмосфере смеси кислорода с воздухом. Кроме того хорошие .ре(зультаты получены растиранием окисей в кварцевой шаровой мельнице; лучшие результаты можно получить измельчением в коллоидальной мельнице.

Термическая активировка приготовленного эмиттера производится

путш -прогревания токами высокой частоты одиовременно с вакуумным обезгаживанием всех деталей прибора.

Описанные эмитте|ры вторичных электронов работают при небольших скоростях первичных электронов; выдерживают большие плотности тока, допускают высокую рабочую температуру и не меняют своих параметров со временем

Предмет и з о- б р е т е п и я

Способ изготовления вторичноэлектронного эмиттера на основе использования окислов металлов, отличающийся тем, что на металлическую подкладку - электрод, И1меюш,ую круппозернистую поверхность, наносят на воздухе методом пульверизации или конденсации окислы алюминия, бария, бфиллия, магния и цинка из высоко дисперсных каллоидальных составоа на органических растворителях или из аэрозолей, а затем прогревают её токами высокой частоты и одновременно производят вакуумное обезгаживание всех деталей прибора.