ИОННО-СОРБЦИОННЫЙ НАСОС Советский патент 1971 года по МПК F04B37/00 

Известны ионно-сорбционные насосы с твердофазными испарителями титана, например с испарителями из титано-молибденовой проволоки или сплавными испарителями.

Величина скорости испарения титана в этих испарителях не превышает 2,5мг/час-см и является недостаточной для высокопроизводительных насосов со скоростями откачки тысячи и десятки тысяч литров в секунду.

Для увеличения скорости испарения титана с твердофазных испарителей необходимо повысить рабочую температуру испарителя. Повышение рабочей температуры испарителей ограничивается температурой плавления материала испарителя.

С целью создания более тугоплавких испарителей увеличивают содержание легируюш,ей компоненты с высокой температурой плавления. Однако при повышенном содержании таких металлов, как ниобий, тантал, молибден, затрудняется вывод свободного титана на поверхность испарителя, уменьшается эффективный запас титана в испарителе, ухудшается механическая обрабатываемость сплава, возрастает стоимость испарителей.

температура плавления титана повышается на 360°С. Азот и кислород прочно удерживаются титаном, и выделения этих газов из сплава вплоть до температуры плавления не наблюдается.

Азот (или кислород) в накаленном титане растворяется быстро. Эту реакцию проводить в вакуумном объеме насоса; для этого создают в объеме насоса нулсное давление

газа и накаляют испаритель.

За счет введения азота и кислорода в биметаллические испарители рабочая температура испарителя повышается и скорости испарения достигают более 10 мг/час-см, т. е.

в 4 раза больше, чем при отсутствии добавки.

Предмет изобретения

1. Ионно-сорбционный насос, содержаш,ий нагреваемые испарители с сорбирующими материалами, например с титаном, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости испарения титана, материал испарителя содержит газ в количестве 0,1-5 вес. %. 2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что материал испарителя содержит азот в количестве 0,1-5 вес. %.