Сорбционный вакуумный насос Советский патент 1962 года по МПК F04B37/04 

Известны сорбционные вакуумные насосы с твердофазным испарителем, выполненным в виде накаливаемого электрическим током стержня с титановым поглотителем. Однако такие насосы сложны в изготовлении.

В описываемом насосе для его удешевления .и упрощения производства твердофазный испаритель титана выполнен из бинарных сплавов титана с тугоплавкими металлами, например молибденом, ниобием или танталом.

Для использования гетерных свойств титана в насосе прямонакальные твердофазные испар.ители изготавливаются из бинарных сплавов, в состав которых входят металлы, образующие с титаном непрерывный ряд твердых растворов. Понижение упругости пара титана над сплавом по сравнению с чистым титаном компенсируется повыщением температуры испарения, поскольку изменение упругости паров в зависимости от температуры подчиняется экспоненциальному закону. Кроме того, возможно использование некоторого испарения и второго компонента сплава, что может сыграть положительную роль из-за избирательности адсорбции.

При обеднении испарителя титаном для поддержания постоянной скорости испарения необходимо увеличить температуру испарителя. В результате подведения к испарителю постоянной мощности происходит частичное саморегулирование процесса, и скорость испарения со временем уменьщается незначительно.

Бинарные сплавы получаются в электронно-лучевой или дуговой „вакуумной печах в условиях высокой чистоты, после чего из них тянут -Проволоку или прутки, из :которых, в свою очередь, изготавливаются твердофазные испарители.

Применение в сорбционных насосах испарителей из бинарных сплавов титана с тугоплавкими металлами позволяет увеличить долговечность насосов и их эффективность.

№ 147287-2-. . --J

Предмет -Изобретения.

Сорбционный вакуумный насос с твердофазным испарителем, выполненным виде накаливаемого электрическим током стержня с тита.новым поглотителем, отличаю щ и:.й с я тем, что, с целью удешевления и упрощения производства, твердофазный испаритель титана выполнен из бинарных сплавов титана с тугоплавкими металлами, например молибденом,, ниобием или танталом .-- .. .... - -,