ВАКУУМНАЯ КАМЕРА С НАГРЕВАТЕЛЬНЫМ УСТРОЙСТВОМ ДЛЯ МИКРОСКОПА Советский патент 1968 года по МПК G02B21/30 

Известны вакуумные камеры с нагревательным устройством для микроскопа, в частности для микроскопа, предназначенного для исследования объекта в отраженном свете, содержащие собственно камеру и питаемый от источника тока нагревательный элемент.

Предложенная вакуумная камера отличается от известных тем, что ее нагревательный элемент выполнен в виде индукционной катушки, размещенной в камере или вокруг камеры из изоляционного материала. Обмотка индукционной катушки имеет коническую форму.

Кроме того, держатель объекта изготовлен из электропроводного материала, а индукционная катушка расположена преимущественно соосно с оптической осью микроскопа.

Это позволяет устранить распыление нагревательного элемента и снижение вакуума и повысить скорость нагрева с одновременным уменьшением неравномерности распределения температуры в исследуемом образце.

На чертеже представлена принципиальная схема описываемой камеры.

Под объективом 1 предназначенного для исследований в отраженном свете микроскопа находится состоящая из основного тела 2 и крышки 3 вакуумная камера с отсасывающим патрубком 4.

Основное тело 2 вакуумной камеры выполнено так, что его можно прикрепить к столику микроскопа с крестовыми салазками. Исследуемая электропроводящая проба 5 расположена на подложке 6 из материала с низкой теплопроводностью. Проба 5 находится внутри индукционной катушки 7 из медной трубы. Вакуумплотное соединение между этой катушкой и генератором высокой частоты осуществляется через вакуумплотную пластинку 8 из материала с небольшими диэлектрическими потерями. Вне этой пластинки 8 на каждой подводке к индукционной катушке имеется винтовое соединение 9 в виде накидной гайки, обеспечивающее через шлифы и хорошее электрическое соединение, и плотный подвод, и вывод протекающего через индукционную катушку охладителя. За винтовым соединением 9 по направлению к генератору высокой частоты в обоих медных подводках расположено по одному сильфону 10 из металла, являющемуся упругим промежуточным звеном между вакуумной камерой и генератором высокой частоты и срабатывающему при перемещении столика микроскопа. Смена связанной с пластинкой 8 индукционной катушки 7 производится после ослабления винтовых соединений 9 и винтов с накатанной головкой 11.

Прикрепляемая при помощи накидной гайки 12 крышка 3 и основное тело 2 вакуумной камеры имеют пустоты 13 и 14, через которые, если это необходимо, можно проводить охладитель. Требуемые для этого патрубки на чертеже не изображены.

Расположенный соосно по отношению к основному телу 2 вакуумной камеры патрубок 15 служит для ввода термоэлемента, который можно глубоко ввести в пробу 5. Между пробой 5 и вакуумплотным окном 16 в крышке 3 вакуумной камеры встроено устройство 17. Благодаря этому устройству 17 во время опыта можно заменять промежуточное стекло 18 другими, еще не напыленными промежуточными стеклами.

Для точной юстировки пробы подложка 6 покоится на юстируемом при помощи винтов 19 шаровом сегменте 20, центр сферы которого находится на поверхности пробы 5.

1. Вакуумная камера с нагревательным устройством для микроскопа, в частности для микроскопа, предназначенного для исследования объекта в отраженном свете, содержащая собственно камеру и питаемый от источника тока нагревательный элемент, отличающаяся тем, что, с целью устранения распыления нагревательного элемента, устранения снижения вакуума и повышения скорости нагрева с одновременным уменьшением неравномерности распределения температур в исследуемом образце, нагревательный элемент выполнен в виде индукционной катушки, размещенной в камере или вокруг камеры из изоляционного материала.

2. Камера по п. 1, отличающаяся тем, что обмотка индукционной катушки выполнена конической.

3. Камера по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью наблюдения непроводящих объектов, держатель объекта выполнен из электропроводного материала, а индукционная катушка расположена преимущественно соосно с оптической осью микроскопа.