ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ НАСОС Советский патент 1972 года по МПК F04B37/02 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционным насосам.

В качестве геттеров в электровакуумных приборах или рабочих материалов в сорбционных вакуумных насосах широко используются такие активные металлы, как титан, цирконий, тантал, ниобий и др.

При работе сорбционных насосов в условиях натекания или поглощения продуктов газоотделения геттер постепенно насыщается кислородом, и на его поверхности образуется пленка окислов, что снижает сорбционную способность насосов. Для обеспечения постоянной работы сорбционных насосов снова создают пленки, например, титана напылением геттера на охлаждаемую поверхность.

Целью изобретения является предотвращение образования пленок продуктов реакции на поверхности нераспыляемого геттера.

Предлагаемый сорбционный насос содержит нагреваемый нераспыляемый сорбирующий элемент, выполненный из сорбционноактивного металла, например ниобия, и отличается от известных тем, что сорбирующий элемент выполнен в виде герметичного нолого сосуда из ниобия, в полости которого помещается щелочной металл, например литий, для очистки сорбирующего металла от кислорода. Благодаря этому увеличивается продолжительность работы сорбирующего элемента.

На фиг. 1 показан сорбирующий элемент.

В камеру или непосредственно в вакуумный объем вводится на фланце / герметично заваренный сосуд 2 из ниобия, заполненный литием. Литий вводится в сосуд в атмосфере инертного газа, а затем сосуд герметизируется электроннолучевой или аргонодуговой сваркой. Толщина стенок оболочки из ниобия 0,5-1 мм. Сорбционный элемент нагревается индукционной катушкой 3 или печью сопротивления.

Насос присоединяется к вакуумной системе и откачивается вспомогательным насосом до давления 1 10 мм рт. ст. Затем сорбционный элемент нагревается до температуры 1000°С, и насос может производить откачку системы до давления мм рт. ст. Наиболее эффективно предлагаемый насос откачивает кислород и кислородсодержащие газы (Н2О, СО, С02). Скорость откачки кислорода составляет 2 л/сек-см на поверхности ниобиевой оболочки, а кислородсодержащих газов 0,2 л1сек-см.

На фиг. 2 приведены кривые, изменения скоростей поглощения кислорода оболочками из ниобия с литием и без лития.

бционио-активного металла, например ниобия, отличающийся тем, что, с целью повышения долговечности поглощающего элемента и увеличения непрерывной работы насоса, сорбирующий элемент выполнен в виде герметичного полого сосуда, внутри которого

расположен щелочной металл, например литий, для непрерывной очистки ниобия от кислорода.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что полый сосуд выполнен в виде замкнутой трубчатой системы.

С, час

W