УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ ПОЛОЖЕНИЯ ПРЕДМЕТНОЙ ТАРЕЛКИ Советский патент 1968 года по МПК F16H1/14 

Данное устройство относится к вакуумной технике и может применяться для сообщения различных движений в вакуумированный объем из атмосферы через его стенку.

Это устройство может быть использовано в установках для напыления полупроводниковых приборов в вакууме, для обеспечения движения исследуемого объекта в вакуумной камере электронного микроскопа и других подобных случаях.

В известных устройствах этого типа предметная тарелка может вращаться около продольной оси, а также ограниченно перемещаться относительно поперечной оси.

Предложенное устройство отличается от известных тем, что предметная тарелка может быть установлена в любом положении, а также охлаждена или нагрета.

На фиг. 1 представлена схема работы устройства; на фиг. 2 - его конструкция.

Предметная тарелка 1, расположенная в вакуумированном объеме 2, ограниченном кожухом 3, может вращаться вокруг своей оси и укреплена на вращающейся головке 4, находящейся в центре объема 2. Вращающаяся головка 4 связана с внутренним концом концентрического относительно оси А-А пустотелого вала 5, в котором расположен ведущий вал 6, вращающийся и движущийся в продольном направлении.

Головка может вращаться вокруг оси В, перпендикулярной осям А-А и С-С.

Для приведения в действие данного устройства на наружных частях валов 5 и 6 имеются ручки 7 и 8. Вращение предметной тарелки вокруг своей оси обеспечивается вращением ручки 8 вала 6. Для вращения предметной тарелки относительно оси В вал 6 с помощью ручки 8 передвигают внутри полого вала 5. При повороте тарелки на 90° (см. на фиг. 1 пунктир) она может за счет аксиального движения вала 5 с помощью ручки 7 придвинуться до соприкосновения с источником тепла или холода. С помощью ручки 7 предметная тарелка может также вращаться вокруг оси А-А.

Пустотелый вал 5 проходит через боковой фланец 9 кожуха 3 и может как вращаться, так и аксиально перемещаться.

Отверстие в кожухе, противоположное фланцу 9, подсоединяется к вакуумному насосу для создания разрежения в объеме 2, который сверху и снизу закрывается фланцами 10 и 11. При необходимости через фланцы можно вводить источники напыления или радиации.

В объеме на стороне, противоположной фланцу 9, имеется охлаждающий цилиндр 12, который служит для охлаждения тарелки.

Последняя соединена посредством втулки 13 и пружины 14 с валом 15. Пружина 14 обеспечивает рессорную подвеску предметной тарелки.

На вал 15 фланцем 16 крепится V-образная скоба 17, параллельные концы 18 которой имеют соосные отверстия для цапф 19 внешней V-образной скобы 20. Поперечина 21 скобы соосно присоединена к внутреннему концу вала 5. Он герметизирован во фланце 9 уплотнительным кольцом 22. Укрепленный во фланце зажимной конус 23 с гайкой 24 позволяет закреплять вал 5 в любом положении.

Сквозь этот вал проходит соосно расположенный вал 25, который может быть неподвижно зафиксирован относительно вала 5 зажимным конусом 26 и гайкой 27. На внешнем конце вала 25 находится ручка 28, а на внутреннем - коническая шестерня 29.

Центральный вал 6 проходит сквозь пустотелый вал 25, а на его внутреннем конце закреплена коническая шестерня 30. Конические шестерни 29 и 30 являются ведущими шестернями двух независимых конических передач, которые предназначены для вращения и наклона предметной тарелки с помощью концентрично расположенных валов 25 и 6.

Передаточный механизм для обеспечения качания внутренней скобы 17 состоит из конических шестерней 29, 31 и 32. Шестерня 32 неподвижно закреплена на одном из колец скобы 17, а шестерня 31 шарнирно закреплена на внешней скобе 20 с наклоном оси в 45° по отношению к осям конических шестерен 29 и 32.

Передаточный механизм для привода вала 15 тарелки 1 состоит из шести конических шестерней 30, 33, 34, 35, 36, 37, из которых две средние шестерни 34 и 35 неподвижно скреплены между собой и сидят на одной втулке, вращающейся относительно скобы 17.

Промежуточная шестерня 33 шарнирно установлена на внешней скобе 20, а промежуточная шестерня 36 - на внутренней скобе 18. Оси шестерен 33 и 36 наклонены по отношению к осям соседних, шестерен, с которыми они находятся в зацеплении, на 45°.

Необходимо отметить, что валы 6 и 25 герметизированы уплотнительными кольцами 38 и 39.

Таким образом, карданная подвеска дает возможность вращаться предметной тарелке вокруг оси В-В так, что тарелка 1 может принимать любое положение.

Устройство для регулирования положения предметной тарелки, состоящее из механизма для передачи движения к предметной тарелке и карданной подвески, отличающееся тем, что, с целью осуществления вращения, наклона и поступательного перемещения предметной тарелки, механизм для передачи движения к предметной тарелке имеет три могущих независимо друг от друга вращаться концентрических валика, два из которых имеют возможность поступательно перемещаться относительно своих продольных осей, и закрепленные на концах валиков конические шестерни; карданная подвеска состоит из двух охватывающих друг друга V-образных скоб, скрепленных шарнир но друг с другом и несущих систему конических шестерен и предметную тарелку.