СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИИ ТОКОПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1968 года по МПК G01N13/00 

Известен способ определения адгезии тонких проводящих слоев к подложке с использованием скоростной центрифуги или с применением различных устройств для стирания нанесенных поверхностных слоев.

Предложенный способ заключается в том, что исследуемый образец помещают в магнитное поле, и пропускают через покрытие электрический ток. Величину адгезии определяют по величине электрического тока в момент отрыва покрытия от подложки. Направление электрического тока и напряженности магнитного поля выбирают такими, чтобы на исследуемую проводящую поверхность действовали силы, отрывающие ее от подложки.

Предложенный способ упрощает измерения и повышает их точность.

На чертеже изображен один из вариантов устройства для осуществления предложенного способа.

Для определения адгезии по предлагаемому способу в магнитное поле электромагнита с сердечником 1 и обмоткой 2 помещают исследуемый образец 3, в котором проводящая поверхность 4 нанесена на диэлектрическую подложку 5. Величину магнитного поля изменяют с помощью регулируемого источника 6 питания обмотки, ток которого контролируется измерительным прибором 7.

Через проводящую поверхность 4 с помощью контактов 5 подводится электрический ток от регулируемого источника 9, и прибор 10 измеряет ток. Направление электрического тока и напряженности магнитного поля подбирают так, чтобы на исследуемую проводящую поверхность действовали силы, отрывающие ее от диэлектрической подложки. При этом электрический ток через образец и в обмотке электромагнита может быть и переменным.

Зная величину тока и магнитного поля через образец, можно определить силу, действующую на исследуемую поверхность. Величина этой силы в момент отрыва исследуемой поверхности от диэлектрической подложки характеризует величину адгезии поверхности к подложке. Момент отрыва проводящей поверхности или ее отдельных частей можно определить как визуально, так и по изменению тока или напряжения, подводимого к образцу, в связи с изменением сопротивления поверхностного проводящего слоя. Для контроля адгезии можно вырезать исследуемые образцы определенных малых размеров или же помещать в магнитное поле образцы больших размеров, учитывая при этом краевые эффекты утечки тока и рассеяния магнитного поля.

С помощью предлагаемого способа можно определить стойкость к отрыву напыленных слоев как в статическом режиме, так и в импульсном при подводе к образцу импульсов тока определенной длительности и амплитуды. В принципе предлагаемый способ может найти применение и в случае проводящей подложки, сопротивление которой отличается от сопротивления нанесенного слоя, и в некоторых случаях для отрыва проводящей подложки от нанесенного на нее диэлектрического исследуемого слоя.

Способ определения адгезии токопроводящих покрытий, отличающийся тем, что, с целью упрощения измерений и повышения их точности, токопроводящее покрытие, нанесенное на подложку из диэлектрика, помещают в магнитное поле и пропускают через покрытие электрический ток, и величину адгезии определяют по величине электрического тока в момент отрыва покрытия от подложки.