ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ Советский патент 1968 года по МПК C09K13/06 

Известный травитель на основе винной кислоты и перекиси водорода для травления антимонида .индия и.меет небольшую скорость травления.

Предложенный травитель отличается от известного тем, что, с целью улучшения качества и увеличения скорости травления, в раствор вводят азотную и плавиковую кислоты при следующем соотношении компонентов (в объемах) :

винная кислота (26-27%)20

перекись водорода ()7

азотная кислота (65%)1

плавиковая кислота (40э/о)1

Предложенный травитель используют При травлении образцов анти1мопида индия р- и п-тилов ориентированных ио плоскости (НО) и (100). При комнатной температуре скорость

травления составляет 3,5-4,5 мг/см мин, при этом получают ровную зеркально-полированную поверхность.

Предмет изобретения

Травитель для обработки поверхности полу:проводников, «аоример антимонида индия, на основе винной кислоты и перекиси водорода, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости и улучшения качества травления, в раствор вводят азотную и пла(Виковую кислоты, при следуюшем соотношении компонентов (в объемах):

винная кислота (26-27%)20

Перекись водорода (30%)7

азотная кислота (65%)1

плавиковая кислота (40%)