СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ И ПЛОТНОСТИ ЭЛЕКТРОНОВ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ Советский патент 1969 года по МПК G01N27/62 G01R27/26 

Изобретение относится к способам измерения параметров плазмы: диэлектрической проницаемости и концентрации электронов.

Известен способ измзрения параметров плазмы с помощью симметричного двухканального радиоинтерферо 1етра с генератором электромагнитных колеба:1НЙ СВЧ-диапазона.

Известный способ предназначен для измере- НИИ параметров нестацио:1арной плазмы, при этом на выходе -интерферс метра регистрируется интерферометрическик сигнал, по числу максимумов которого судят о плотности плазмы.

Предлагаемый способ позволяет производить измерения параметров стационарной плазмы. Для этого частоту генератора интерферометра модулируют ПС периодическому закону и определяют амплитуду относительной девИации фазы на выходе .интерферометра. Величина девиации фазы Аф связана с величиной частотной модуляции Ды и параметрами плазмы - протяженностью / и диэлектрической проницаемостью е - соотношением

Дсо/

.

Дг1 :

УЕ

По величине Аф можно определить концен трацию частиц в плазме.

При отсутствии плазмы интерферометр должен быть сбалансирован, и частотная модуляция не должна сопровождаться девиацией фазы. Путем выбора индекса частотной модуляции можно для данного диапазона измеряемых концентраций получить удобно измеряемую величину девиации фазы.

Предмет изобретения

Способ измерения диэлектрической проницаемости и плотности электронов газоразрядной плазмы с использованием симметричного двухканального радиоинтерферометра с генератором электромагнитных колебаний СВЧдиапазона, отличающийся тем, что, с целью

измерения параметров стационарной плазмы, частоту генератора модулируют по периодическому закону и на выходе интерферометра определяют амплитуду относительной девиации фазы, по которой судят о параметрах плазмы.