ЗАЩИТНОЕ ПОКРЫТИЕ Советский патент 1969 года по МПК H01L21/47 

Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов, в частности солнечных батарей.

Известно, что при изтотовленпи и эксплуатации полупроводниковых приборов их поверхность может загрязняться как различными материалами, используемыми в технологическом -процессе (.например, клеящими, лакокрасочными, герметизирующими), так и ингредиентами, присутствующими в окружающей .среде (пыль, песок, влага). Наличие инородных веществ на поверхности полупроводников приводит к ухудшению их параметров.

При известных способах временной защиты полупроводников используются липкие пленочные материалы на основе полиэтилена, поливинилхлорида и т. д. или лакокрасочные покрытия.

Недостаток этих способов заключается в необходимости применения химических реактивов и растворителей, например трихлорэтилена (см. английский-патент HIK № 1008807), для удаления лакокрасочного покрытия или следов липкой пленки, что отрицательно сказывается «а свойствах полупроводниковых приборов. Кроме того, из-за высокой адгезии защитных материалов к полупроводникам операция снятия .протектора приводит к появлению различных механических ловреждеНИИ поверхности, микродефектов и т. д. Указанные защитные покрытия не обеспечивают одновременной очистки поверхности полупроводников от адсорбированных примесей.

Предлагаемое защитное покрытие на основе пластифицированной поливинилацетатной эмульсии не имеет перечисленных недостатков. Оно представляет собой композицию из пластифицированнойлоливинилацетатной

эмзльсии и мыльноглицериновой пасты, вводимой в количестве 15-20 вес. ч. на 100 вес. ч. эмульсии и Придающей ей антиадгезионные свойства, обеспечивающие возмолсность легкого удаления защитной пленки.

Приготовление и нанесение защитного покрытия иллюстрируется следующим примером.

Пример. К 100 вес. ч. пластифицированной поливинилацетатной эмульсии (ВТУ № МХП М-363-56) добавляется 15 вес. ч. мыльноглицериновой пасты, содержащей 20% глицерина (ГОСТ 6824-54), 25% стружки хозяйственного мыла (ВТУ 216-63) и 55% воды. Смесь загружается в аппарат с мешалко) и нагревается при температуре 65-80°С в течение 15-30 мин до получения однородной массы молочного цвета, после чего охлаждается до комнатной температуры.

кистью, путем полива или пульверизатором. После высыхания при комнатной температуре оно образует эластичную пленку. При снятии протектора поверхность полупроводника одновременно очищается от адсорбированных веществ.

Предложенное защитное покрытие обладает следующими полол ительньгми качествами: предохраняет полупроводниковые приборы ог клеящих (клей 88-Н, К-400 и т. д.), герметизирующих (кремнийорганические герметики типа «Виксинт, эпоксидный компаунд К-115) и лакокрасочных материалов (акрилатные и эпоксидные эмали, кремнийорганические лаки); защищает приборы от атмосферного воздействия при хранении и эксплуатации; легко удаляется с защищаемой поверхности на любой стадии технологического процесса без применения растворителей.

Предмет изобретения

L Защитное покрытие на основе пластифицированной поливинилацетатной эмульсии для .полупроводниковых приборов в процессе их производства, отличающееся тем, что, с целью очистки и предохра.нения поверхности

полупроводниковых приборов от загрязнений

и удаления защитной пленки без применения

каких-либо химических реагентов, в состав

эмульсии введена мыльноглицериновая паста.

2. Защитное покрытие по п. 1, отличающееся

тем, что мыльноглицериновая паста введена в количестве 15-20 вес. ч. на 100 вес. ч. эмульсии.