УСТРОЙСТВО для очистки ПРОВОЛОКИ в ПОЛЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА Советский патент 1969 года по МПК C23C14/02 

РГзвестны устройства для очистки проволоки в поле тлеющего разряда, С0 держащие разрядную камеру, внутри которой расположены анод и обрабатываемая деталь, служащая катодом.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что разрядная камера выполнена с отводами IB виде капилляров. При такой конструкции ycTipoflcTBa обеспечивается иеирерывность .процесса очистки проволоки.

На чертеже изображено предлагаемое устройство, ОбщИЙ ВИД.

Устройство состоит из разрядной камеры /, внутри которой расположены анод 2 и лроволока 3, служащая катодом. Разрядная камера выполнена с отводами в виде капилляров 4. Посредством вакуум-провода 5 разрядная камера / соединена с откачной системой.

При приложении напряжения между анодом 2 и проволокой 3 возникает электрический разряд, в результате чего проволока -подвергается ионной iбoмбapдиpoвкe в поле тлеющего разря-да. Скорость очпстки Проволоки зависит от парциального давления кислорода в разрядной -камере. Интепсивный обмен воздуха в разрядной камере осуществляется за

счет натекания воздуха через капилляры 4, служащие одновременпо для протягивания проволоки. Давление в разрядной .камере определяется геометрическими размерами капилляров 4, диаметром протягиваемой нроволоки 1 скоростью откачки газов из камеры.

Предмет и 3 о б р е т е н и я

Устройство для очистки Ироволоки в поле тлеющего разряда, содержащее разрядную камеру, внутри которой расположены апод и обрабатываемая деталь, служащая катодом, отличающееся тем, что, с целью обеспечения Непрерывности процесса, разрядная камера выполнена с отводами в виде капилляров.