МАНИПУЛЯТОР ДЛЯ ПЕРЕНОСА ТОНКИХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Советский патент 1969 года по МПК H01L21/00 

Существующие устройства для переноса тонких пластин основаны на использований механических захватов или на .вакуумном подсосе, что приводит к обязательному контакту пластин с чужеродными телами и увеличивает возможность «х поломки и загрязнения.

Предлагаемый маиипулятор позволяет осуществить беско-нта.ктный перенос пластин, а с„1едовательно, устра-няет механические поверхности повреждения и загрязнения переносимых Т1ласти«.

На фиг. 1 изображена головка захвата, на фиг. 2 - вид по стрелке А на фиг. 1.

Полупроводниковая пластина / с полироваиной поверхностью находится в головке захвата 2.

В центре головк1И 2 имеется канал 3, соединенный с пневмосопротивлением. Инертный газ повыщенного давления от пневмосопротивления проходит по каналу 3 и, радиально распределяясь, истекает с большой скоростью через зазор между оптической плоскостью 4 головки и пластиной / (пластину с полироваНной поверхностью можно рассм атривать как вторую оптическую плоскость). При больщих скоростях движения газа образуется полость низкого давления (закон Бернулли). Атмосферное давление поднимает и удерживает пластину во взвещенном состоянии в зазоре относительно захвата, равном 0,05 мм. Истечение газа осуществляется через отверстия 5 и 6, выполненные по периферии головки. При этом отверстия 5 расположены выще зазора между пластиной и оптической плоскостью головки, а отверстия 6 несколько смещены относительно того же зазора, что дает направленное движение истекаемому газу и не позволяет газовому потоку отжимать пластину от головки. Для обеспечения устойчивого положения пластины в горизонтальной плоскости захват имеет ограждение 7. Освобождение переносимой пластины осуществляется снятием давления.

Предмет изобретения

Манипулятор для переноса тонких полупроводниковых пластин, содержащий захват, вьтолненный в виде головки с краевыми буртиками, отличающийся тем, что, с целью предотвращения механических повреждений и загрязнений переносимых пластин, головка имеет в центре канал,, соединенный с источником инертного газа повышенного давления, а по периферии головки выполнены отверстия сброса газа, причем эти отверстия расположены выш« зазоров между пластиной и оптической плоскостью головки.

f I t f f t t fix.

Нстече мие газа

ЛаКление из пнеЛ«со/ ютибленияW.

Атмосферное дадяение

fuz.l

ВидА