АВТОМАТ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ Советский патент 1972 года по МПК H01L21/306 

Изве-стен автомат для химическое-обработки полупроводниковых пластиН, содержащий реакционные камеры, п-невматический маиипулятор переноса пластин, командоаппарат управления пневмосистемой, дифференциальную систему контроля состояния рабочего агента, привод.

Лредлол енный автомат отличается тем, что Б нижней части реакционной: камеры установлена газовая турбина, являющаяся столом для размещения единичной пластины, а в верхней части - газовая ультразвуковая ту-рбосирена, соединенная с соплом подачи реактива и механизмом возвратно-поступательного движения. Это улучшает качество и воспроизводимость результатов химической обработки отдельных пластин.

На фиг. 1 показам общий вид автомата;- на фиг. 2 изображена реакционная камера.

Автомат содержит основание 1, выдающий бункер 2, в который загружается партия пластин (стопка из 100 щтук) принимающий бункер 3. Пневматические манипуляторы 4 переносят пластину избункера 2 сначала в реакционную камеру 5, затем в реакционную камеру бив .принимающий буикер 3. Единичная пластина кремния 7 укладывается на турбику-стол 8 в нижней части реакционной камеры. Турб;-ша-стол подвешивается на струе инертного газа, истекающего из дна 9 камеры

через центрирующий зазор между ротором турбины и стедками камеры.

Газ, подаваемый;из двух сопел W на лопасти турбниы.пртводит ее во вращение. Затем из со-пла //в центре ультразвуковой сирены 12 над верхней поверхностью пластин подается под давлением реактив. При вращении турбины пластина кремния, смещаясь под действием центро бежных сил относительно центра вращения, упирается в щтифты/с. Солло 11 связано с механизмом возвратнопоступательно-го перемещения 14.

При вращении пластины и передвижения сонла происходит быстрая смена реактива,

повышаются качество и воспроизводимость результатов-;химической обработки.

Предмет изо1бретения

Автомат для химической обработки полупроводниковых пластин, содержащий реакционные камеры,- пневматический манипулятор переноса пластин, командоагопарат управления пневмосистемой, дифференциальную систему контроля состояния рабочего агента, привод, отличающийся тем, что, с делью улучшения качества и воспроизводимости результатов химической обработки отдельных пластин, в нижней части реакционной камеры ус