СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОКОПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ Советский патент 1970 года по МПК C23C20/06 

.1

Изобретение относится к области нанесения токопроводящих пленок на диэлектрики.

Способ по основному авт. св. № 178260 предусматривает нанесение токопроводящих пленок на внутреннюю поверхность труб из диэлектрика путем распыления на нагретую до 500-700°С поверхность, предварительно подвергнутую электризации аэрозоля.

По предложенному способу с целью повышения скорости процесса и снижения расхода пленкообразующего материала дополнительно ла внутреннюю поверхность трубы подают потенциал 5-20 кв и внутри трубы создают в радиальном направлении градиент температур в 10 град/мм за счет того, что температура внутри трубы выше температуры ее стенок.

Подача потенциала на внутреннюю поверхность трубы осуществляется с помощью металлического экрана, на который подается высокое напряжение. Труба снаружи обматывается алюминиевой фольгой. Знак потенциала противоположен знаку потенциала аэрозольных частиц.

Градиент температуры создается за -счет того, что температуру внутри трубы поддерживают на 150-200°С выще, чем температуру ее стенок, вследствие того, что внутри трубы .помещают нагреватель, нап1ример, из нихромовой проволоки, температура KOTOiporo составляет 700-900°С при температуре стеиск 500-700°С.

При вдувании тумана, полученного из пленкообразующего раствора, например, на основе хлорного олова, жидкая фаза испаряется, а заряженные твердые частицы под действием электрического поля и градиента температур равномерно осаждаются на внутренней поверхности трубы. При этом значительно возрастает скорость осаждения и уменьшается расход пленкообразующего материала.

Предмет изобретения

Способ нанесения токопроводящих пленок на диэлектрические материалы по авт. св. № 178260, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости процесса и снижения расхода пленкообразующего материала при нанесении пленок на внутреннюю поверхность труб, на нее подают потенциал 5-20 кв и внутри трубы создают в радиальном направлении градиент температур в 10 град/мм.